Etalon za nanomjeriteljstvo s višestrukim vrijednostima koraka i brazda

2011. godine uHrvatskom nacionalnom laboratorijuza duljinu (HMI/FSB-LPMD) razvijeni su etaloni za umjeravanje, a koji su izrađeni u suradnji s tvrtkom MikroMaschTrading OU i Institutom Ruđer Bošković. Specifični dizajn etalona čini ih prikladnim za umjeravanje optičkih mjernih uređaja, uređaja s ticalom, skenirajućih elektronskih mikroskopa, mikroskopa atomskih sila i skenirajućih tunelirajućih mikroskopa. Stoga razvijeni etaloni uvelike pridonose obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde i 2D i 3D parametara hrapavosti dobivenih različitim mjernim metodama. Nakon niza provedenih mjerenja na novim etalonima, temeljem kojih su stečena nova znanja, u HMI/FSB-LPMD-u osmišljeni su novi etaloni za područje dimenzionalnog nanomjeriteljstva. U ovom radu predstavljen je dizajn novog etalona, koji je još uvijek prikladan za umjeravanje različitih tipova mjernih uređaja, ali ima veće mogućnost mjerenja u smislu mjernih raspona u vertikalnom i lateralnom smjeru