Nanolayered Composites

Tato studie je zaměřena na základní výzkum tenkých vrstev plazmových polymerů a vliv depozičních podmínek na strukturu a vlastnosti jednotlivých vrstev a multivrstev připravených pomocí metody PE CVD. Jednotlivé vrstvy a multivrstvy a-SiC:H byly deponovány na křemíkové substráty z monomeru tetravinylsilanu (TVS) při různých výkonech v kontinuálním a pulzním režimu. Vrstvy byly rozsáhle zkoumány pomocí spektroskopické elipsometrie, nanoindentace, mikroskopie atomárních sil (AFM), rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS), spektroskopie Rutherfordova zpětného rozptylu (RBS), rentgenové reflektivity, Fourierovy transformační infračervené spektroskopie (FTIR) a měření kontaktního úhlu, pro zjištění jejich optických, mechanických a chemických vlastností. Byl zkoumán a prokázán vliv depozičních podmínek na fyzikálně-chemické vlastnosti pp-TVS vrstev. Jednotlivé vrstvy byly v rámci po-depoziční úpravy vystaveny UV záření a byl zkoumán účinek stárnutí a vliv UV záření na jejich fyzikální a chemické vlastnosti. Multivrstevnaté struktury (plazmaticky polymerizované 2-vrstvy a 10-ti-vrstvy) s tloušťkou jednotlivých vrstev od 0,5 µm do 25 nm byly úspěšně deponovány a charakterizovány pomocí elipsometrické spektroskopie. Na základě získaných poznatků je možné připravit materiály s vlastnostmi upravenými podle požadavků pro využití v nanokompozitních aplikacích a optických zařízeních