Kapcsolt termoanalitikai módszerek vékony filmek technológiájának fejlesztésében

A termikus analízis, amelynek Magyarországon is nagy hagyományai vannak,1,2 leggyakrabban porított, ill. aprított formájú analitikai mintákat vizsgál. Azonban a termoanalitikai technikák és mérőberendezések, jelenlegi magas összetettségi szintjüknek köszönhetően már ma is képesek vizsgálni olyan hőmérséklet indukálta változásokat, amelyek vékony fi lmekben jelennek meg, ahol a rendelkezésre álló mintamennyiség csekély, rendszerint 1 mg/cm2 alatt van. Ez kiszélesíti a termikus analízis alkalmazhatósági körét a vékonyfi lm-technológiához, mely kulcsszerepet játszik új anyagok, folyamatok és eszközök kifejlesztésében, különösen a mikroelektronikai és optoelektronikai ipar számára. 3,4 Egyik nem túl régi példája a mind vékony rétegek mind porok formájában igen jelentős alkalmazási potenciállal bíró új anyagoknak a magas hőmérsékletű szupravezetők. A termikus analízist ezen új oxidkerámia anyagok tanulmányozására már rögtön a felfedezésük után alkalmazni kezdték, és különösen a szupravezetők szintézisében és a kívánatos oxigéntartalmuk, ill. oxigénsztöchiometriájuk jellemzésére a termoanalitikai módszerek elengedhetetleneknek bizonyultak.5-7 Általában elmondható, hogy a termikus analízis most válik azon technikáknak az egyik gyakran használt csoportjává, amelyek képesek problémamegoldásra a vékonyfi lmek formájában leválasztásra és jellemzésre kerülő anyagok körében. A termikus analízis megnövekedett használatának egyik oka, többek között, a vékony fi lmek kémiai leválasztási módszereinek a mind gyakoribb alkalmazása, amelyek során a prekurzoranyagok és leválasztás kémiai folyamatai kényelmesen tanulmányozhatók a termikus analízis eszközeivel