System Level Modeling and Simulink for MEMS

随着微机械电子(MEMS)产业的蓬勃发展，传统的靠不断试制样机进行设计的方法已不再能满足其发展的需求。实现MEMSCAD计算机辅助设计可以加速MEMS器件的设计和制造过程,提高器件的性能和可靠性，优化器件的结构，降低开发周期和成本，还可以探索新的功能机理。MEMS器件系统级模拟从整体上把握系统的性能，决定了器件的性能和各种几何参数，是MEMSCAD研究的前沿和热点，具有重要的理论研究意义和实际运用价值。 常用的MEMS器件系统级模拟是基于宏模型的，宏模型是对MEMS器件整体性能的高度概括，因此实现基于三维实体的MEMS宏模型自动获取，是MEMS系统级建模和仿真的关键技术。本文针对MEMS器件...With the accelerated development of MEMS industry, the traditional designing method by fabricating model machine could not meet the demands of its further development. Aided by MEMS CAD, designer can shrink the period of design and fabrication, improve device’s reliability and performance, optimize parameters, lower cost and stimulate innovation. System level modeling of MEMS holds device performa...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_测试计量技术及仪器学号：20002900