Analyse optique in situ de la phase gazeuse au cours du depot de carbure de silicium par decomposition thermique du melange methyltrichlorosilane-hydrogene

Dorval, Nelly
Office National d'Etudes et de Recherches Aerospatiales (ONERA), 92 - Chatillon (France)

Publication date

January 1993

Abstract

SIGLEAvailable at INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : 190 A, issue : a. 1994 n. 4; T 91324 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

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Analyse optique in situ de la phase gazeuse au cours du depot de carbure de silicium par decomposition thermique du melange methyltrichlorosilane-hydrogene

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