Etude d'un plasma continu pulse en regime de decharge et de post-decharge. Application a la nitruration du fer

Etude d'une decharge creee par une onde stationnaire

Rakem, Z.
Bloyet, E.
Boisse-Laporte, C.
Granier, A.
Leprince, P.
Marec, J.
Paris-11 Univ., 91 - Orsay (France). Lab. de Physique des Gaz et des Plasma

January 1986

SIGLECNRS RP 137 (38) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Caracterisation du plasma de dopage, suivi in-situ de proprietes electriques pendant la croissance. Correlation plasma-depot par ellipsometrie

De Rosny, Gilles (ed.)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 75 - Paris (France). Programme Interdisciplinaire de Recherche sur les Sciences de l'Energie et des Matieres Premieres
Institut National de Physique Nucleaire et de Physique des Particules (IN2P3), 91 - Palaiseau (France). Lab. de Physique Nucleaire des Hautes Energies

January 1986

CNRS RP 440 (282) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Diagnostic et modelisation d'un plasma basse pression gaz rares-fluor excite a 13.56 MHz

Elyaakouri, Mustapha

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 82302 / INIST-CNRS -...

Etude des caracteristiques du plasma dans la region cathodique d'une decharge luminescente d'azote

Margulis, Alvaro

January 1987

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Caracterisation energetique et physico-chimie d'un plasma a superposition de puissance

Billou, Eric

January 1989

SIGLEINIST T 72856 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Deferlement des ondes de plasma dans un plasma inhomogene

Benhassine, Mohammed

January 1985

SIGLECNRS T 57577 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Propagation d'ondes plasma electroniques dans un plasma fluctuant

Vosluisant, Yann
Doveil, F.

January 1990

SIGLEINIST T 72680 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude des decharges creees par onde de surface a moyenne et haute pression : application a l'analyse chimique

Laye Granier, Agnes

January 1986

CNRS TD 15502 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Etude des ions d'un plasma reactif : effets d'une perturbation harmonique imposee

Arezki, Brahim

January 1985

SIGLECNRS T 57587 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Defauts induits dans le silicium par le gravure plasma

Belkacem, Amrane

January 1991

SIGLEINIST T 75442 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude de l'ecoulement pulse d'un fluide incompressible dans une conduite elastique : application a la circulation arterielle

Benmadda, El Mostafa

January 1987

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Analyse des transferts d'energie dans l'hypothese de plasmas a deux temperatures: application aux decharges mercure a basse et haute pression

Zissis, Georges

January 1990

SIGLEINIST T 73979 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Deposition de nitrure de silicium par CVD assistee par plasma de decharge continue : etude de la phase gazeuse, tentatives de correlations avec les qualites de couches deposees

Duchesne, Dominique

January 1988

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Les lixiviats de decharges controlees : caracterisation analytique, etude des filieres de traitement

Millot, Norbert
Institut National des Sciences Appliquees (INSA), 69 - Villeurbanne (France)

January 1986

SIGLECNRS T 59029 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude du couplage plasma induit par haute frequence (ICP) et spectrometrie de masse quadripolaire pour l'analyse elementaire

Poussel, E.
Deruaz, D.
Mermet, J.M.
Fonds de la Recherche et de la Technologie (FRT), 75 - Paris (France)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 69 - Vernaizon (France). Service Central d'Analyse.
Lyon-1 Univ., 69 - Villeurbanne (France). Lab. des Sciences Analytiques

January 1987

SIGLECNRS AR 12294 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude d'une decharge creee par une onde stationnaire

Rakem, Z.
Bloyet, E.
Boisse-Laporte, C.
Granier, A.
Leprince, P.
Marec, J.
Paris-11 Univ., 91 - Orsay (France). Lab. de Physique des Gaz et des Plasma

January 1986

SIGLECNRS RP 137 (38) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Caracterisation du plasma de dopage, suivi in-situ de proprietes electriques pendant la croissance. Correlation plasma-depot par ellipsometrie

De Rosny, Gilles (ed.)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 75 - Paris (France). Programme Interdisciplinaire de Recherche sur les Sciences de l'Energie et des Matieres Premieres
Institut National de Physique Nucleaire et de Physique des Particules (IN2P3), 91 - Palaiseau (France). Lab. de Physique Nucleaire des Hautes Energies

January 1986

CNRS RP 440 (282) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Diagnostic et modelisation d'un plasma basse pression gaz rares-fluor excite a 13.56 MHz

Elyaakouri, Mustapha

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 82302 / INIST-CNRS -...

Etude des caracteristiques du plasma dans la region cathodique d'une decharge luminescente d'azote

Margulis, Alvaro

January 1987

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Caracterisation energetique et physico-chimie d'un plasma a superposition de puissance

Billou, Eric

January 1989

SIGLEINIST T 72856 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Deferlement des ondes de plasma dans un plasma inhomogene

Benhassine, Mohammed

January 1985

SIGLECNRS T 57577 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Propagation d'ondes plasma electroniques dans un plasma fluctuant

Vosluisant, Yann
Doveil, F.

January 1990

SIGLEINIST T 72680 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude des decharges creees par onde de surface a moyenne et haute pression : application a l'analyse chimique

Laye Granier, Agnes

January 1986

CNRS TD 15502 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Etude des ions d'un plasma reactif : effets d'une perturbation harmonique imposee

Arezki, Brahim

January 1985

SIGLECNRS T 57587 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Defauts induits dans le silicium par le gravure plasma

Belkacem, Amrane

January 1991

SIGLEINIST T 75442 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude de l'ecoulement pulse d'un fluide incompressible dans une conduite elastique : application a la circulation arterielle

Benmadda, El Mostafa

January 1987

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Analyse des transferts d'energie dans l'hypothese de plasmas a deux temperatures: application aux decharges mercure a basse et haute pression

Zissis, Georges

January 1990

SIGLEINIST T 73979 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Deposition de nitrure de silicium par CVD assistee par plasma de decharge continue : etude de la phase gazeuse, tentatives de correlations avec les qualites de couches deposees

Duchesne, Dominique

January 1988

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Les lixiviats de decharges controlees : caracterisation analytique, etude des filieres de traitement

Millot, Norbert
Institut National des Sciences Appliquees (INSA), 69 - Villeurbanne (France)

January 1986

SIGLECNRS T 59029 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude du couplage plasma induit par haute frequence (ICP) et spectrometrie de masse quadripolaire pour l'analyse elementaire

Poussel, E.
Deruaz, D.
Mermet, J.M.
Fonds de la Recherche et de la Technologie (FRT), 75 - Paris (France)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 69 - Vernaizon (France). Service Central d'Analyse.
Lyon-1 Univ., 69 - Villeurbanne (France). Lab. des Sciences Analytiques

January 1987

SIGLECNRS AR 12294 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude d'une decharge creee par une onde stationnaire

Rakem, Z.
Bloyet, E.
Boisse-Laporte, C.
Granier, A.
Leprince, P.
Marec, J.
Paris-11 Univ., 91 - Orsay (France). Lab. de Physique des Gaz et des Plasma

January 1986

SIGLECNRS RP 137 (38) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Caracterisation du plasma de dopage, suivi in-situ de proprietes electriques pendant la croissance. Correlation plasma-depot par ellipsometrie

De Rosny, Gilles (ed.)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 75 - Paris (France). Programme Interdisciplinaire de Recherche sur les Sciences de l'Energie et des Matieres Premieres
Institut National de Physique Nucleaire et de Physique des Particules (IN2P3), 91 - Palaiseau (France). Lab. de Physique Nucleaire des Hautes Energies

January 1986

CNRS RP 440 (282) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Diagnostic et modelisation d'un plasma basse pression gaz rares-fluor excite a 13.56 MHz

Elyaakouri, Mustapha

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 82302 / INIST-CNRS -...

Etude d'un plasma continu pulse en regime de decharge et de post-decharge. Application a la nitruration du fer

Abstract

Extracted data

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