Etude de couches minces de carbure de silicium deposees par CVD assistee plasma basse frequence

Etude experimentale d'un commutateur a plasma

Veron, Laurent

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 78767 / INIST-CNRS -...

Gravure du silicium par le chlore assistee par laser

Desmur, Annick

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : TD 81496 / INIST-CNRS ...

Etude et mise au point d'un depot selectif de siliciure de titane par procede APCVD

Penelon, Joel
Madar, Roland
Ministere de la Recherche et de l'Espace (MRE), 75 - Paris (France)
Jipelec, 38 - Grenoble (France)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 38 - Saint-Martin-d'Heres (France). Materiaux et Genie Physique
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), 38 - Saint-martin d'Heres (France). Lab. de Materiaux et Genie Physique

January 1990

Available at INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : AR 15103 / INIST-CNRS - Insti...

Synthese de precurseurs de carbure et de carbonitrure de silicium. Etude de leur ceramisation

Planeix, Jean-Marc

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 82519 / INIST-CNRS -...

Mise au point d'une installation pilote de purification du silicium par plasma thermique inductif et modelisation des transferts de matiere et de chaleur plasma-particule

Humbert, Patrick

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 79698 / INIST-CNRS -...

Croissance et caracterisation de couches minces d'oxyde de silicium obtenues par plasma de composes organosilicies. (HMDSO, TEOS)

Bourreau, Christian

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : TD 82234 / INIST-CNRS ...

Le systeme carbure de silicium-nitrure d'aluminium

Landon Raude, Martine
Ecole Nationale Superieure des Mines, 75 - Paris (France)

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 77906 / INIST-CNRS -...

Contribution a l'etude de l'elaboration du nitrure de silicium par un nouveau procede de depot chimique en phase gazeuze assiste par plasma

Fakih, Chakib
Institut National Polytechnique de Toulouse (INPT), 31 (France)

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : TD 81205 / INIST-CNRS ...

Etude d'un procede de realisation de ceramiques a matrice nitrure de silicium renforcees trichites de carbure de silicium

Lespade, P.
Aerospatiale, 33 - Saint-Medard-en-Jalles (France). Div. Systemes Stategiques et Spatiaux

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : AR 15953 / INIST-CNRS ...

Etude des mecanismes de formation du silicium poreux

Ronga-Lefebvre, Isabelle

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 79577 / INIST-CNRS -...

Depot CVD de silicium partiellement oxyde : analyse et modelisation de l'operation

Dominguez, Eric
Cakir, Eliane
Couderc, Jean-Pierre
Dehan, Eric
Scheid, Emmanuel (eds.)
Peyre Lavigne, Andre (comp.)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 31 - Toulouse (France). Lab. d'Analyse et d'Architecture des Systemes (LAAS)
Motorola Semiconducteurs S.A., 31 - Toulouse (France)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 31 - Toulouse (France). Lab. de Genie Chimique
Toulouse-3 Univ., 31 (France). Lab. de Chimie Physique et Electrochimie
Institut National Polytechnique de Toulouse, 31 (France). Inst. du Genie Chimique

January 1996

Available from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : AR 15940 / INIST-CNRS - Ins...

Depot chimique en phase vapeur assiste plasma de revetements Si-C sur acier - Evaluation de l'adherence

Lelogeais, Marc

January 1991

Available from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 79912 / INIST-CNRS - Inst...

Carbonitrures hydrogenes obtenus par depot chimique en phase vapeur assiste par un plasma reactif

Ricci, Martine

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 78794 / INIST-CNRS -...

Mise au point de programmes paralleles en langage d'acteurs : l'environnement de plasma II

Salome, Marine

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 81797 / INIST-CNRS -...

Battement d'ondes en plasmas, excitation et detection par ondes centimetriques

Su, Yuan
Ecole Polytechnique, 91 - Palaiseau (France)

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 84671 / INIST-CNRS -...

Etude experimentale d'un commutateur a plasma

Veron, Laurent

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 78767 / INIST-CNRS -...

Gravure du silicium par le chlore assistee par laser

Desmur, Annick

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : TD 81496 / INIST-CNRS ...

Etude et mise au point d'un depot selectif de siliciure de titane par procede APCVD

Penelon, Joel
Madar, Roland
Ministere de la Recherche et de l'Espace (MRE), 75 - Paris (France)
Jipelec, 38 - Grenoble (France)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 38 - Saint-Martin-d'Heres (France). Materiaux et Genie Physique
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), 38 - Saint-martin d'Heres (France). Lab. de Materiaux et Genie Physique

January 1990

Available at INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : AR 15103 / INIST-CNRS - Insti...

Synthese de precurseurs de carbure et de carbonitrure de silicium. Etude de leur ceramisation

Planeix, Jean-Marc

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 82519 / INIST-CNRS -...

Mise au point d'une installation pilote de purification du silicium par plasma thermique inductif et modelisation des transferts de matiere et de chaleur plasma-particule

Humbert, Patrick

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 79698 / INIST-CNRS -...

Croissance et caracterisation de couches minces d'oxyde de silicium obtenues par plasma de composes organosilicies. (HMDSO, TEOS)

Bourreau, Christian

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : TD 82234 / INIST-CNRS ...

Le systeme carbure de silicium-nitrure d'aluminium

Landon Raude, Martine
Ecole Nationale Superieure des Mines, 75 - Paris (France)

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 77906 / INIST-CNRS -...

Contribution a l'etude de l'elaboration du nitrure de silicium par un nouveau procede de depot chimique en phase gazeuze assiste par plasma

Fakih, Chakib
Institut National Polytechnique de Toulouse (INPT), 31 (France)

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : TD 81205 / INIST-CNRS ...

Etude d'un procede de realisation de ceramiques a matrice nitrure de silicium renforcees trichites de carbure de silicium

Lespade, P.
Aerospatiale, 33 - Saint-Medard-en-Jalles (France). Div. Systemes Stategiques et Spatiaux

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : AR 15953 / INIST-CNRS ...

Etude des mecanismes de formation du silicium poreux

Ronga-Lefebvre, Isabelle

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 79577 / INIST-CNRS -...

Depot CVD de silicium partiellement oxyde : analyse et modelisation de l'operation

Dominguez, Eric
Cakir, Eliane
Couderc, Jean-Pierre
Dehan, Eric
Scheid, Emmanuel (eds.)
Peyre Lavigne, Andre (comp.)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 31 - Toulouse (France). Lab. d'Analyse et d'Architecture des Systemes (LAAS)
Motorola Semiconducteurs S.A., 31 - Toulouse (France)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 31 - Toulouse (France). Lab. de Genie Chimique
Toulouse-3 Univ., 31 (France). Lab. de Chimie Physique et Electrochimie
Institut National Polytechnique de Toulouse, 31 (France). Inst. du Genie Chimique

January 1996

Available from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : AR 15940 / INIST-CNRS - Ins...

Depot chimique en phase vapeur assiste plasma de revetements Si-C sur acier - Evaluation de l'adherence

Lelogeais, Marc

January 1991

Available from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 79912 / INIST-CNRS - Inst...

Carbonitrures hydrogenes obtenus par depot chimique en phase vapeur assiste par un plasma reactif

Ricci, Martine

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 78794 / INIST-CNRS -...

Mise au point de programmes paralleles en langage d'acteurs : l'environnement de plasma II

Salome, Marine

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 81797 / INIST-CNRS -...

Battement d'ondes en plasmas, excitation et detection par ondes centimetriques

Su, Yuan
Ecole Polytechnique, 91 - Palaiseau (France)

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 84671 / INIST-CNRS -...

Etude experimentale d'un commutateur a plasma

Veron, Laurent

January 1991

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : T 78767 / INIST-CNRS -...

Gravure du silicium par le chlore assistee par laser

Desmur, Annick

January 1992

SIGLEAvailable from INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : TD 81496 / INIST-CNRS ...

Etude et mise au point d'un depot selectif de siliciure de titane par procede APCVD

Penelon, Joel
Madar, Roland
Ministere de la Recherche et de l'Espace (MRE), 75 - Paris (France)
Jipelec, 38 - Grenoble (France)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 38 - Saint-Martin-d'Heres (France). Materiaux et Genie Physique
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), 38 - Saint-martin d'Heres (France). Lab. de Materiaux et Genie Physique

January 1990

Available at INIST (FR), Document Supply Service, under shelf-number : AR 15103 / INIST-CNRS - Insti...

Etude de couches minces de carbure de silicium deposees par CVD assistee plasma basse frequence

Abstract

Extracted data

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