Weiterentwicklung eines Plasmafokus hinsichtlich Leistung und Standzeit, um ihn als Roentgenstrahlungsquelle fuer Labormaskaligner in der Halbleiterindustrie nutzen zu koennen Schlussbericht

Grundlegende Untersuchungen von Plasmaschaltern fuer Hochstromimpulsgeneratoren. Plasmaschalter in Hochspannungsimpulsgeneratoren Abschlussbericht

Hilo-Test GmbH, Karlsruhe (Germany)

January 1999

Available from TIB Hannover: DtF QN1(73,23) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Die stromtragende Plasmalinse, eine effektive Moeglichkeit zur Fokussierung hochenergetischer Teilchenstrahlen

Tauschwitz, A.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH, Darmstadt (Germany)
Technische Hochschule Darmstadt (Germany). Fachbereich 5 - Physik

January 1993

Available from TIB Hannover: RA 3692(93-31) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Konstruktive Gestaltung und phaenomenologische Optimierung von Plasmaanlagen mit nichtuebertragenem Lichtbogen fuer das Versuchswesen in der Raumfahrt und fuer die Anwendung in der Hochtemperatur-Verfahrenstechnik

Schwall, H.
Aachen Technische Hochschule (Germany). Fakultaet fuer Bergbau, Huettenwesen und Geowissenschaften

January 1989

Available from TIB Hannover: DW 2881 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Entwicklung eines Plasmasystems als Strahlenquelle fuer die Roentgenmikroskopie

Neff, W.
Lebert, R.
Holz, R.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: FR 6115+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Komponenten fuer eine Plasmafokusquelle fuer die Roentgenlithographie Schlussbericht

Siegel, A.
Zeiss (C.), Oberkochen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1988

SIGLETIB Hannover: FR 3470+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informati...

Plasmastrahlungsquelle fuer den industriellen Einsatz in der Roentgenlithographie

Richter, F.
Aachen Technische Hochschule (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: DW 2914 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Reinigung von technischen Oberflaechen fuer plasmagestuetzte Beschichtungsprozesse Abschlussbericht

Gruen, R.
Grund, I.
Fendler, R.
Reif, A.
Eckardt, T.
Groeninger, H.B.
Plasma Technik Gruen GmbH, Siegen (Germany)

January 2000

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B181 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Oberflaechenanalytik an Plasmapolymerisationsschichten Abschlussbericht

Deimel, M.
Wolany, D.
Wiedmann, L.
Benninghoven, A.
Jahn, P.W.
Petrat, F.M.
Lipinsky, D.
Schmerling, C.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Muenster Univ. (Germany). Physikalisches Inst.

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B454+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Abbildungen von Mikrostrukturen mit Roentgenstrahlung und mit einem Plasmasystem als Roentgenstrahlungsquelle

Schmahl, G.
Goettingen Univ. (Germany). Forschungseinrichtung Roentgenphysik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

Available from TIB Hannover: FR 6309 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Grundlagenuntersuchungen zur Plasmabehandlung von Technischen Textilien. Teilvorhaben: Untersuchung der Eigenschaften plasmabehandelter Hochleistungsfilterstoffe Abschlussbericht

Heimbach (T.J.) G.m.b.H. und Co. KG, Dueren (Germany)

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B341 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Stromskalierung von Plasmafokusanlagen

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Entwicklung und Aufbau einer Plasmapulsanlage fuer die Erzeugung hochverschleissfester Schichten Abschlussbericht

Igenbergs, E.
Dirr, B.
Rott, M.
Technische Univ. Muenchen (Germany). Lehrstuhl fuer Raumfahrttechnik

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B989 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Grundlagenuntersuchungen zur Plasmabehandlung von Technischen Textilien. Teilvorhaben: Untersuchung der verfahrenstechnischen Grundlagen fuer die Plasmabehandlung laufender Textilbahnen Abschlussbericht

Stegmaier, T.
Institut fuer Textil- und Verfahrenstechnik (ITV), Denkendorf (Germany)

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B1547+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Entwicklung einer Plasmazentrifuge bis zum Labormodell 3. Zwischenbericht 10.7.-31.12.1973

Heller, H.
Kress, H.D.
McClure, J.J.
Nathrath, N.
Simon, M.
Messerschmitt-Boelkow-Blohm G.m.b.H., Ottobrunn (Germany, F.R.). Unternehmensbereich Apparate Wehrtechnik
Uran-Isotopentrennungs-G.m.b.H. (URANIT), Juelich (Germany, F.R.)

January 1974

TIB Hannover: MU 8115 (190-74) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informa...

Grundlagen zum lokalen Hochrate-Plasmaaetzen zur Veredlung von optischen Oberflaechen. Teilvorhaben: Komponenten fuer lokales Hochrate-Plasmaaetzen Abschlussbericht

Roth, D.
Roth und Rau Oberflaechentechnik GmbH, Wuestenbrand (Germany)

January 2000

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B443+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Grundlegende Untersuchungen von Plasmaschaltern fuer Hochstromimpulsgeneratoren. Plasmaschalter in Hochspannungsimpulsgeneratoren Abschlussbericht

Hilo-Test GmbH, Karlsruhe (Germany)

January 1999

Available from TIB Hannover: DtF QN1(73,23) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Die stromtragende Plasmalinse, eine effektive Moeglichkeit zur Fokussierung hochenergetischer Teilchenstrahlen

Tauschwitz, A.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH, Darmstadt (Germany)
Technische Hochschule Darmstadt (Germany). Fachbereich 5 - Physik

January 1993

Available from TIB Hannover: RA 3692(93-31) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Konstruktive Gestaltung und phaenomenologische Optimierung von Plasmaanlagen mit nichtuebertragenem Lichtbogen fuer das Versuchswesen in der Raumfahrt und fuer die Anwendung in der Hochtemperatur-Verfahrenstechnik

Schwall, H.
Aachen Technische Hochschule (Germany). Fakultaet fuer Bergbau, Huettenwesen und Geowissenschaften

January 1989

Available from TIB Hannover: DW 2881 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Entwicklung eines Plasmasystems als Strahlenquelle fuer die Roentgenmikroskopie

Neff, W.
Lebert, R.
Holz, R.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: FR 6115+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Komponenten fuer eine Plasmafokusquelle fuer die Roentgenlithographie Schlussbericht

Siegel, A.
Zeiss (C.), Oberkochen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1988

SIGLETIB Hannover: FR 3470+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informati...

Plasmastrahlungsquelle fuer den industriellen Einsatz in der Roentgenlithographie

Richter, F.
Aachen Technische Hochschule (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: DW 2914 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Reinigung von technischen Oberflaechen fuer plasmagestuetzte Beschichtungsprozesse Abschlussbericht

Gruen, R.
Grund, I.
Fendler, R.
Reif, A.
Eckardt, T.
Groeninger, H.B.
Plasma Technik Gruen GmbH, Siegen (Germany)

January 2000

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B181 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Oberflaechenanalytik an Plasmapolymerisationsschichten Abschlussbericht

Deimel, M.
Wolany, D.
Wiedmann, L.
Benninghoven, A.
Jahn, P.W.
Petrat, F.M.
Lipinsky, D.
Schmerling, C.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Muenster Univ. (Germany). Physikalisches Inst.

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B454+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Abbildungen von Mikrostrukturen mit Roentgenstrahlung und mit einem Plasmasystem als Roentgenstrahlungsquelle

Schmahl, G.
Goettingen Univ. (Germany). Forschungseinrichtung Roentgenphysik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

Available from TIB Hannover: FR 6309 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Grundlagenuntersuchungen zur Plasmabehandlung von Technischen Textilien. Teilvorhaben: Untersuchung der Eigenschaften plasmabehandelter Hochleistungsfilterstoffe Abschlussbericht

Heimbach (T.J.) G.m.b.H. und Co. KG, Dueren (Germany)

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B341 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Stromskalierung von Plasmafokusanlagen

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Entwicklung und Aufbau einer Plasmapulsanlage fuer die Erzeugung hochverschleissfester Schichten Abschlussbericht

Igenbergs, E.
Dirr, B.
Rott, M.
Technische Univ. Muenchen (Germany). Lehrstuhl fuer Raumfahrttechnik

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B989 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Grundlagenuntersuchungen zur Plasmabehandlung von Technischen Textilien. Teilvorhaben: Untersuchung der verfahrenstechnischen Grundlagen fuer die Plasmabehandlung laufender Textilbahnen Abschlussbericht

Stegmaier, T.
Institut fuer Textil- und Verfahrenstechnik (ITV), Denkendorf (Germany)

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B1547+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Entwicklung einer Plasmazentrifuge bis zum Labormodell 3. Zwischenbericht 10.7.-31.12.1973

Heller, H.
Kress, H.D.
McClure, J.J.
Nathrath, N.
Simon, M.
Messerschmitt-Boelkow-Blohm G.m.b.H., Ottobrunn (Germany, F.R.). Unternehmensbereich Apparate Wehrtechnik
Uran-Isotopentrennungs-G.m.b.H. (URANIT), Juelich (Germany, F.R.)

January 1974

TIB Hannover: MU 8115 (190-74) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informa...

Grundlagen zum lokalen Hochrate-Plasmaaetzen zur Veredlung von optischen Oberflaechen. Teilvorhaben: Komponenten fuer lokales Hochrate-Plasmaaetzen Abschlussbericht

Roth, D.
Roth und Rau Oberflaechentechnik GmbH, Wuestenbrand (Germany)

January 2000

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B443+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Grundlegende Untersuchungen von Plasmaschaltern fuer Hochstromimpulsgeneratoren. Plasmaschalter in Hochspannungsimpulsgeneratoren Abschlussbericht

Hilo-Test GmbH, Karlsruhe (Germany)

January 1999

Available from TIB Hannover: DtF QN1(73,23) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Die stromtragende Plasmalinse, eine effektive Moeglichkeit zur Fokussierung hochenergetischer Teilchenstrahlen

Tauschwitz, A.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH, Darmstadt (Germany)
Technische Hochschule Darmstadt (Germany). Fachbereich 5 - Physik

January 1993

Available from TIB Hannover: RA 3692(93-31) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Konstruktive Gestaltung und phaenomenologische Optimierung von Plasmaanlagen mit nichtuebertragenem Lichtbogen fuer das Versuchswesen in der Raumfahrt und fuer die Anwendung in der Hochtemperatur-Verfahrenstechnik

Schwall, H.
Aachen Technische Hochschule (Germany). Fakultaet fuer Bergbau, Huettenwesen und Geowissenschaften

January 1989

Available from TIB Hannover: DW 2881 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Weiterentwicklung eines Plasmafokus hinsichtlich Leistung und Standzeit, um ihn als Roentgenstrahlungsquelle fuer Labormaskaligner in der Halbleiterindustrie nutzen zu koennen Schlussbericht

Abstract

Extracted data

Weiterentwicklung eines Plasmafokus hinsichtlich Leistung und Standzeit, um ihn als Roentgenstrahlungsquelle fuer Labormaskaligner in der Halbleiterindustrie nutzen zu koennen Schlussbericht

Abstract

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