Contribution au recuit du silicium par couplage microondes-faisceau d'electrons

Contribution a l'etude de la structure electronique des siliciures de metaux de transition et de leur interface avec le silicium

Martinage, Laurence

January 1989

SIGLECNRS TD Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Defauts induits dans le silicium par le gravure plasma

Belkacem, Amrane

January 1991

SIGLEINIST T 75442 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude theorique des metaux de transition dans le silicium

Mdaa, Abdesselam

January 1985

CNRS T 57384 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Contribution a l'etude des siliciures pour la microelectronique

Thomas, Olivier
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), 38 (France)

January 1986

SIGLECNRS T 60121 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution au recuit par faisceau d'electrons balaye : caracterisation de la diffusion thermique

Bassou, Ghaouti
Institut National Polytechnique, 31 - Toulouse (France)

January 1984

SIGLECNRS T 55755 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude d'un applicateur microonde de type fente, excite par une ligne microruban

Pribetich, Pierre

January 1984

SIGLET 54885 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude par microscopie electronique du silicium implante et recuit par faisceau d'electrons pulse

Ambri, Mohamed

January 1984

SIGLET 56194 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude des defauts electroniquement actifs dans le silicium recuit par faisceaux d'electrons pulses

Doghmane, Mohammed-Salah
Institut National des Sciences Appliquees (INSA), 69 - Villeurbanne (France)

January 1984

SIGLET 56234 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Microelectronique silicium. Silicium sur isolant. Soutien aux activites GCIS. Outils generaux. Connectique

Joly, Jean-Pierre
Nicolas, Gerard
Cussol, Pierre
Niez, Jean-Jacques
Micolet, Rene
Lamure, Jean-Michel
Fonds de la Recherche et de la Technologie (FRT), 75 - Paris (France)
CEA Centre d'Etudes Nucleaires de Grenoble, 38 (France). Lab. d'Electronique et de Technologie de l'Informatique (LETI)

January 1985

SIGLECNRS AR 12175 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Le silicium a finalite microelectronique et photovoltaique

Huong, Pham Van
Agence Francaise pour la Maitrise de l'Energie (AFME), 75 - Paris (France)
Bordeaux-1 Univ., 33 - Talence (France). Lab. de Spectroscopie Moleculaire et Cristalline

January 1987

CNRS RP 400 (634) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Contribution a l'etude des proprietes electroniques des superreseaux metalliques et semiconducteurs

Rahmani, Moulay-Driss

January 1990

SIGLEINIST T 75881 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude du silicium poreux: mecanismes de formation; oxydation anodique. Photo et electroluminescence

Bsiesy, Ahmad

January 1991

SIGLEINIST T 75920 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Recristallisation en phase solide du silicium par microondes

Kamarinos, Georges
Fonds de la Recherche et de la Technologie (FRT), 75 - Paris (France)
Institut National Polytechnique de Grenoble, 38 (France). Lab. des Composants a Semiconducteurs
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 38 - Grenoble (France). Physique des Composants Electroniques a Semiconducteurs

January 1982

SIGLECNRS AR 11050 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude d'alliages germanium-carbone et silicium-carbone obtenus par OMCVD

Gallon, Claude

January 1988

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude de la reponse au pH du nitrure de silicium en vue de la realisation de capteurs microelectroniques

Lefevre, Christophe

January 1989

SIGLECNRS T 66522 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude de la structure electronique des siliciures de metaux de transition et de leur interface avec le silicium

Martinage, Laurence

January 1989

SIGLECNRS TD Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Defauts induits dans le silicium par le gravure plasma

Belkacem, Amrane

January 1991

SIGLEINIST T 75442 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude theorique des metaux de transition dans le silicium

Mdaa, Abdesselam

January 1985

CNRS T 57384 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Contribution a l'etude des siliciures pour la microelectronique

Thomas, Olivier
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), 38 (France)

January 1986

SIGLECNRS T 60121 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution au recuit par faisceau d'electrons balaye : caracterisation de la diffusion thermique

Bassou, Ghaouti
Institut National Polytechnique, 31 - Toulouse (France)

January 1984

SIGLECNRS T 55755 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude d'un applicateur microonde de type fente, excite par une ligne microruban

Pribetich, Pierre

January 1984

SIGLET 54885 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude par microscopie electronique du silicium implante et recuit par faisceau d'electrons pulse

Ambri, Mohamed

January 1984

SIGLET 56194 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude des defauts electroniquement actifs dans le silicium recuit par faisceaux d'electrons pulses

Doghmane, Mohammed-Salah
Institut National des Sciences Appliquees (INSA), 69 - Villeurbanne (France)

January 1984

SIGLET 56234 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Microelectronique silicium. Silicium sur isolant. Soutien aux activites GCIS. Outils generaux. Connectique

Joly, Jean-Pierre
Nicolas, Gerard
Cussol, Pierre
Niez, Jean-Jacques
Micolet, Rene
Lamure, Jean-Michel
Fonds de la Recherche et de la Technologie (FRT), 75 - Paris (France)
CEA Centre d'Etudes Nucleaires de Grenoble, 38 (France). Lab. d'Electronique et de Technologie de l'Informatique (LETI)

January 1985

SIGLECNRS AR 12175 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Le silicium a finalite microelectronique et photovoltaique

Huong, Pham Van
Agence Francaise pour la Maitrise de l'Energie (AFME), 75 - Paris (France)
Bordeaux-1 Univ., 33 - Talence (France). Lab. de Spectroscopie Moleculaire et Cristalline

January 1987

CNRS RP 400 (634) / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Contribution a l'etude des proprietes electroniques des superreseaux metalliques et semiconducteurs

Rahmani, Moulay-Driss

January 1990

SIGLEINIST T 75881 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude du silicium poreux: mecanismes de formation; oxydation anodique. Photo et electroluminescence

Bsiesy, Ahmad

January 1991

SIGLEINIST T 75920 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Recristallisation en phase solide du silicium par microondes

Kamarinos, Georges
Fonds de la Recherche et de la Technologie (FRT), 75 - Paris (France)
Institut National Polytechnique de Grenoble, 38 (France). Lab. des Composants a Semiconducteurs
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), 38 - Grenoble (France). Physique des Composants Electroniques a Semiconducteurs

January 1982

SIGLECNRS AR 11050 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude d'alliages germanium-carbone et silicium-carbone obtenus par OMCVD

Gallon, Claude

January 1988

SIGLECNRS T Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Etude de la reponse au pH du nitrure de silicium en vue de la realisation de capteurs microelectroniques

Lefevre, Christophe

January 1989

SIGLECNRS T 66522 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude de la structure electronique des siliciures de metaux de transition et de leur interface avec le silicium

Martinage, Laurence

January 1989

SIGLECNRS TD Bordereau / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Defauts induits dans le silicium par le gravure plasma

Belkacem, Amrane

January 1991

SIGLEINIST T 75442 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueFRFranc

Contribution a l'etude theorique des metaux de transition dans le silicium

Mdaa, Abdesselam

January 1985

CNRS T 57384 / INIST-CNRS - Institut de l'Information Scientifique et TechniqueSIGLEFRFranc

Contribution au recuit du silicium par couplage microondes-faisceau d'electrons

Abstract

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Contribution au recuit du silicium par couplage microondes-faisceau d'electrons

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