Kristallzuechtung und Bearbeitung von Si-Wafern mit Durchmessern von 300mm und groesser. Teilvorhaben: Metallkontaminations-Spurenanalyse auf 300mm Scheibenoberflaechen Abschlussbericht

Huber, A.
Freudenberg, F.
GeMeTec - Gesellschaft fuer Messtechnik und Technologie mbH, Muenchen (Germany)

Publication date

January 2000

Abstract

Available from TIB Hannover: F00B894+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung und Forschung (BMBF), Bonn (Germany)DEGerman

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Kristallzuechtung und Bearbeitung von Si-Wafern mit Durchmessern von 300mm und groesser. Teilvorhaben: Metallkontaminations-Spurenanalyse auf 300mm Scheibenoberflaechen Abschlussbericht

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Kristallzuechtung und Bearbeitung von Si-Wafern mit Durchmessern von 300mm und groesser. Teilvorhaben: Metallkontaminations-Spurenanalyse auf 300mm Scheibenoberflaechen Abschlussbericht

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