Applikations- und Demonstrationszentrum fuer die Mikrosystemtechnik in Erlangen. Teilprojekt: Dienstleistungszentrum IIS-B Abschlussbericht

Temmel, G.
Burte, E.
Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen Bauelementetechnologie (AIS), Erlangen (Germany)

Publication date

January 1995

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(30,5) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

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Applikations- und Demonstrationszentrum fuer die Mikrosystemtechnik in Erlangen. Teilprojekt: Dienstleistungszentrum IIS-B Abschlussbericht

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