Entwurf komplexer Sensor-Aktor-Systeme - EKOSAS. Teilvorhaben: Entwurf komplexer Sensorsysteme der Silizium-Bulk-Mikromechanik Schlussbericht

Dittrich, C.
Gesellschaft fuer Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH (GEMAC) (Germany)

Publication date

January 2003

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F04B20 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

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