KINSENS: Mikromechanik mit integrierter Elektronik fuer kinetische Sensoren. Teilvorhaben: Anpassentwicklung des Beschleunigungsmessers und Test unter Bohrlochbedingungen Abschlussbericht

Prozessmesstechnik mittels integriert-optischer Sensoren auf Glasbasis Integriert-optische Mikrosensoren mit angepasster optischer und elektronischer Signalauswertung

Klein, R.
Voges, E.
Dortmund Univ. (Germany). Lehrstuhl fuer Hochfrequenztechnik

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B914 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Methoden und Werkzeuge fuer den Mikrosystementwurf. Verifikation von Entwurfswerkzeugen mit elektromechanischen Sensoren Abschlussbericht

Menzel
AST Angewandte System-Technik GmbH Energie-, Mess-, und Umwelttechnik, Dresden (Germany)

January 1994

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B19 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisc...

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Anwendung frequenzanaloger Kraftsensoren in der Waegetechnik. Abschlussbericht

Selig, K.P.
Fischle, D.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut GmbH und Co. KG, Balingen (Germany)

January 1992

With 12 refs., 17 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B645+a / FIZ - Fachinformationszzentrum ...

KINSENS: Mikromechanik mit integrierter Elektronik fuer kinetische Sensoren. Teilvorhaben: Anpassentwicklung des Beschleunigungsmessers und Test unter Bohrlochbedingungen. Berichtszeitraum: 01.01.1995-31.08.1996 Abschlussbericht

Krueger, V.
Wiese, F.
Oppelt, J.
Baker Hughes INTEQ GmbH, Celle (Germany). Abt. Engineering

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F99B1030+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Mikromechanik mit integrierter Elektronik fuer kinetische Sensoren (KINSENS). Teilprojekt: ASIC-Technologie Abschlussbericht

Graefe, M.
Roessler, F.
Thesys Gesellschaft fuer Mikroelektronik, Erfurt (Germany)

January 1998

Available from TIB Hannover: DtF QN1(67,21) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Abschlussbericht zur Entwicklung einer Auswerteelektronik fuer kinetische Sensoren (KINSENS)

Gesellschaft fuer Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH (GEMAC) (Germany)

January 1998

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Mikromechanik fuer kinetische Sensoren Abschlussbericht

Gessner, T.
Technische Univ. Chemnitz-Zwickau, Chemnitz (Germany). Fakultaet fuer Elektrotechnik und Informationstechnik

January 1995

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Mikromechanik fuer Kinetische Sensoren (1991-1994) Abschlussbericht

LITEF GmbH, Freiburg im Breisgau (Germany)
SMT und HYBRID GmbH, Dresden (Germany)
Technische Univ. Chemnitz-Zwickau (Germany)
Technische Univ. Ilmenau (Germany)

January 1995

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Drehratensensor in Mikromechanik mit integrierter Elektronik (DREHSENS). Teilthema GEMAC: Entwicklung der integrierten Elektronik fuer den Sensor Abschlussbericht

Guenther, W.
Gesellschaft fuer Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH (GEMAC) (Germany)

January 2002

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Kinetische Sensoren in Mikromechanik. Phase 1 (1990 - 1991) Jahresabschlussbericht 1991

LITEF GmbH, Freiburg im Breisgau (Germany)
SMT und HYBRID GmbH, Dresden (Germany)
Chemnitz Technische Univ. (Germany)
Ilmenau Technische Hochschule (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B910+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

ISAMIG - Integrierte Sensoren mittels additiver Mikro-Galvanik-Verfahren fuer Anwendungen im Automobil. Teilvorhaben: Mikrodeformationsanalyse integrierter Sensoren zur Bewertung ihrer mechanischen Zuverlaessigkeit Abschlussbericht

Noack, E.
Kieselstein, E.
Dost, M.
Winkler, T.
Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH, Chemnitz (Germany)

January 2000

Available from TIB Hannover: F01B165+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Integrierte Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik - ISAMIG Schlussbericht

STEAG MicroParts GmbH, Dortmund (Germany)

January 2000

Available from TIB Hannover: DtF QN1(86,25) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

MiScha - Mikrotechnische schaltende Sensoren. Teilvorhaben: Einsatz mikrotechnischer schaltender Sensoren als Tastaturschalter Abschlussbericht

Kizele, R.
Marquardt GmbH, Rietheim-Weilheim (Germany)

January 2002

Available from TIB Hannover: DtF QN1(112,19) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Entwicklung eines implantierbaren Mikro-Sensor-Aktorsystems fuer die kontrollierte Muskelstimulation (IMPLAS). Teilprojekt: Entwicklung und mikrotechnischer Aufbau des Mikro-Sensor-Aktorsystems Abschlussbericht

Moenich, M.
Hytron Mess- und Systemtechnik GmbH, Ober-Ramstadt (Germany)

January 2001

Available from TIB Hannover: DtF QN1(96,7) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Entwurf komplexer Sensor-Aktor-Systeme - EKOSAS. Teilvorhaben: Entwurf komplexer Sensorsysteme der Silizium-Bulk-Mikromechanik Schlussbericht

Dittrich, C.
Gesellschaft fuer Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH (GEMAC) (Germany)

January 2003

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F04B20 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisc...

Prozessmesstechnik mittels integriert-optischer Sensoren auf Glasbasis Integriert-optische Mikrosensoren mit angepasster optischer und elektronischer Signalauswertung

Klein, R.
Voges, E.
Dortmund Univ. (Germany). Lehrstuhl fuer Hochfrequenztechnik

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B914 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Methoden und Werkzeuge fuer den Mikrosystementwurf. Verifikation von Entwurfswerkzeugen mit elektromechanischen Sensoren Abschlussbericht

Menzel
AST Angewandte System-Technik GmbH Energie-, Mess-, und Umwelttechnik, Dresden (Germany)

January 1994

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B19 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisc...

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Anwendung frequenzanaloger Kraftsensoren in der Waegetechnik. Abschlussbericht

Selig, K.P.
Fischle, D.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut GmbH und Co. KG, Balingen (Germany)

January 1992

With 12 refs., 17 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B645+a / FIZ - Fachinformationszzentrum ...

KINSENS: Mikromechanik mit integrierter Elektronik fuer kinetische Sensoren. Teilvorhaben: Anpassentwicklung des Beschleunigungsmessers und Test unter Bohrlochbedingungen. Berichtszeitraum: 01.01.1995-31.08.1996 Abschlussbericht

Krueger, V.
Wiese, F.
Oppelt, J.
Baker Hughes INTEQ GmbH, Celle (Germany). Abt. Engineering

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F99B1030+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Mikromechanik mit integrierter Elektronik fuer kinetische Sensoren (KINSENS). Teilprojekt: ASIC-Technologie Abschlussbericht

Graefe, M.
Roessler, F.
Thesys Gesellschaft fuer Mikroelektronik, Erfurt (Germany)

January 1998

Available from TIB Hannover: DtF QN1(67,21) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Abschlussbericht zur Entwicklung einer Auswerteelektronik fuer kinetische Sensoren (KINSENS)

Gesellschaft fuer Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH (GEMAC) (Germany)

January 1998

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(66,37) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - ...

Mikromechanik fuer kinetische Sensoren Abschlussbericht

Gessner, T.
Technische Univ. Chemnitz-Zwickau, Chemnitz (Germany). Fakultaet fuer Elektrotechnik und Informationstechnik

January 1995

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B2528 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Mikromechanik fuer Kinetische Sensoren (1991-1994) Abschlussbericht

LITEF GmbH, Freiburg im Breisgau (Germany)
SMT und HYBRID GmbH, Dresden (Germany)
Technische Univ. Chemnitz-Zwickau (Germany)
Technische Univ. Ilmenau (Germany)

January 1995

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F98B1093 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Drehratensensor in Mikromechanik mit integrierter Elektronik (DREHSENS). Teilthema GEMAC: Entwicklung der integrierten Elektronik fuer den Sensor Abschlussbericht

Guenther, W.
Gesellschaft fuer Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH (GEMAC) (Germany)

January 2002

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F03B942+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Kinetische Sensoren in Mikromechanik. Phase 1 (1990 - 1991) Jahresabschlussbericht 1991

LITEF GmbH, Freiburg im Breisgau (Germany)
SMT und HYBRID GmbH, Dresden (Germany)
Chemnitz Technische Univ. (Germany)
Ilmenau Technische Hochschule (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B910+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

ISAMIG - Integrierte Sensoren mittels additiver Mikro-Galvanik-Verfahren fuer Anwendungen im Automobil. Teilvorhaben: Mikrodeformationsanalyse integrierter Sensoren zur Bewertung ihrer mechanischen Zuverlaessigkeit Abschlussbericht

Noack, E.
Kieselstein, E.
Dost, M.
Winkler, T.
Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH, Chemnitz (Germany)

January 2000

Available from TIB Hannover: F01B165+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Integrierte Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik - ISAMIG Schlussbericht

STEAG MicroParts GmbH, Dortmund (Germany)

January 2000

Available from TIB Hannover: DtF QN1(86,25) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

MiScha - Mikrotechnische schaltende Sensoren. Teilvorhaben: Einsatz mikrotechnischer schaltender Sensoren als Tastaturschalter Abschlussbericht

Kizele, R.
Marquardt GmbH, Rietheim-Weilheim (Germany)

January 2002

Available from TIB Hannover: DtF QN1(112,19) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Entwicklung eines implantierbaren Mikro-Sensor-Aktorsystems fuer die kontrollierte Muskelstimulation (IMPLAS). Teilprojekt: Entwicklung und mikrotechnischer Aufbau des Mikro-Sensor-Aktorsystems Abschlussbericht

Moenich, M.
Hytron Mess- und Systemtechnik GmbH, Ober-Ramstadt (Germany)

January 2001

Available from TIB Hannover: DtF QN1(96,7) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Entwurf komplexer Sensor-Aktor-Systeme - EKOSAS. Teilvorhaben: Entwurf komplexer Sensorsysteme der Silizium-Bulk-Mikromechanik Schlussbericht

Dittrich, C.
Gesellschaft fuer Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH (GEMAC) (Germany)

January 2003

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Prozessmesstechnik mittels integriert-optischer Sensoren auf Glasbasis Integriert-optische Mikrosensoren mit angepasster optischer und elektronischer Signalauswertung

Klein, R.
Voges, E.
Dortmund Univ. (Germany). Lehrstuhl fuer Hochfrequenztechnik

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B914 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Methoden und Werkzeuge fuer den Mikrosystementwurf. Verifikation von Entwurfswerkzeugen mit elektromechanischen Sensoren Abschlussbericht

Menzel
AST Angewandte System-Technik GmbH Energie-, Mess-, und Umwelttechnik, Dresden (Germany)

January 1994

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B19 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisc...

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Anwendung frequenzanaloger Kraftsensoren in der Waegetechnik. Abschlussbericht

Selig, K.P.
Fischle, D.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut GmbH und Co. KG, Balingen (Germany)

January 1992

With 12 refs., 17 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B645+a / FIZ - Fachinformationszzentrum ...

KINSENS: Mikromechanik mit integrierter Elektronik fuer kinetische Sensoren. Teilvorhaben: Anpassentwicklung des Beschleunigungsmessers und Test unter Bohrlochbedingungen Abschlussbericht

Abstract

Extracted data

KINSENS: Mikromechanik mit integrierter Elektronik fuer kinetische Sensoren. Teilvorhaben: Anpassentwicklung des Beschleunigungsmessers und Test unter Bohrlochbedingungen Abschlussbericht

Abstract

Extracted data

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