Plasma-CVD-Beschichtung metallischer Werkstoffe (Anlagenentwicklung) Schlussbericht

Untersuchungen zum Elektron-Loch-Plasma am direkten Halbleiter CdS

Kempf, K.

January 1984

With 119 refs.SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformatio...

Plasmaschweissen von Aluminiumwerkstoffen. T. 1: Plasma-Wechselstromschweissen

Nentwig, A.
Schweisstechnische Lehr- und Versuchsanstalt GmbH, Muenchen (Germany)

January 2000

Available from TIB Hannover: F03B1131 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische ...

DECOTEC - Plasma-CVD-Prozesse zur effizienten und sicheren Fertigung von innovativen, dekorativen Oberflaechen unter Produktionsbedingungen Abschlussbericht

Mohr, A.
Plasma Electronic GmbH, Neuenburg (Germany)

January 2004

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F04B1337 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Plasma-CVD-Beschichtung bei tiefen Temperaturen Abschlussbericht

Crummenauer, J.
Stock, H.R.
Forschungskuratorium Maschinenbau e.V., Frankfurt am Main (Germany)
Stiftung Inst. fuer Werkstofftechnik, Bremen (Germany)

January 1991

With 57 refs.Available from TIB Hannover: RA 2383(159) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / ...

Praeparation von Metall-dotierten a-C:H- und Diamantschichten mittels Plasma-unterstuetzter Verfahren Abschlussbericht

Benndorf, C.
Hamburg Univ. (Germany). Inst. fuer Physikalische Chemie
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

With 74 refs., 3 tabs., 42 figs.Available from TIB Hannover: FR 6990+a / FIZ - Fachinformationszzent...

Abscheidung von kohlenstoffbasierten Schichten im Grobvakuum mittels Mittelfrequenz-Plasma-CVD

Michler, T.
Fraunhofer-Institut fuer Schicht- und Oberflaechentechnik, Braunschweig (Germany)

January 1998

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RR 9195(6) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Schichtsystem- und Prozessentwicklung zur Vermeidung von Trennmitteln beim Aluminium-Druckguss - eine Systemloesung Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchungen zur Plasma-CVD-Beschichtung von Druckgusswerkzeugen. Hochskalierung des Plasma-CVD-Prozesses fuer die Beschichtung von Druckgusswerkzeugen. Pruefung von Funktionsmustern

Pfohl, C.
Rie, K.T.
Gebauer, A.
Boegel, F.
Koch, F.
Steffens, G.
Vollmer, T.
Zumkeller, M.
Roeders (G.A.) GmbH und Co. KG, Soltau (Germany)
Verschleiss-Schutz-Technik Keller GmbH und Co. KG, Schopfheim (Germany)
Technische Univ. Braunschweig (Germany). Inst. fuer Oberflaechentechnik und Plasmatechnische Werkstoffentwicklung

January 1999

Available from TIB Hannover: F97B1960+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisch...

Verfahrensgrundlagen zur Entwicklung mikrostrukturierter Materialsysteme durch Plasmaabscheidung mittels LPVD Vorlaeufiger Schlussbericht

Mai, H.
Akademie der Wissenschaften, Dresden (Germany). Zentralinstitut fuer Festkoerperphysik und Werkstofforschung
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

With 57 refs., 2 tabs., 12 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: D.Dt.F. AC 1000(44,25) / FIZ - Fac...

Industrielle Entwicklung der Mikrowellen-Plasmapolymerisation

Sellschopp, M.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Leybold-Heraeus G.m.b.H. und Co. K.G., Hanau (Germany)

January 1986

With 18 refs., 4 tabs., 31 figs.SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FI...

MO-CVD fuer Hartstoffschichten Teilvorhaben: Erprobung metallorganischer Verbindungen hinsichtlich der Temperaturabsenkung bei CVD-Prozessen. Schlussbericht

Szabo, A.
Keller, K.
Verschleiss-Schutz-Technik Dr. Ing. Klaus Keller, Schopfheim (Germany). Bereich Beschichtungstechnik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1989

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 5641 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Emissionsminderung von Schadstoffen aus Plasmaprozessen. Technische Realisierung an Plasma-CVD-Prozessen Abschlussbericht

Kroedel, G.
Fabian, L.
Centrotherm Elektrische Anlagen GmbH und Co., Dresden (Germany)

January 1995

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B2270+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Plasmanitrierung und Hartstoffbeschichtung von Werkzeugwerkstoffen in einem durchgaengigen PVD-Prozess

Ebersbach, G.
Kunath, F.
Gesellschaft fuer Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden/Chemnitz GmbH, Schmalkalden (Germany). Inst. fuer Physikalische und Mechanische Technologien

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: D.Dt.F.QN1(19,24) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB...

Entwicklung einer Plasma-Zentrifuge Statusbericht zum 10.9.1976

Kress, H.D.
McClure, J.J.
Simon, M.
Nathrath, N.
Mueck, G.
Bayerisches Staatsministerium fuer Wirtschaft und Verkehr, Muenchen (Germany, F.R.)
Uran-Isotopentrennungs-G.m.b.H. (URANIT), Juelich (Germany, F.R.)
Messerschmitt-Boelkow-Blohm G.m.b.H., Ottobrunn (Germany, F.R.). Unternehmensbereich Raumfahrt

January 1976

TIB Hannover: MU 8069 (329-76) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informa...

Plasmaschweissen von Aluminiumwerkstoffen. T. 2: Plasma-Pluspolschweissen Abschlussbericht

Dilthey, U.
Kabatnik, L.
Technische Hochschule Aachen (Germany). Lehrstuhl und Inst. fuer Schweisstechnische Fertigungsverfahren

January 2000

Available from TIB Hannover: F04B531 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Plasmatechnische Untersuchungen zur spektralen Strahlungsemission an Metall-Halogenid-Entladungen Abschlussbericht

Hess, H.
Schoepp, H.
Hartel, G.
Baudisch, M.
Freisinger, B.
Holz, L.
Institut fuer Niedertemperatur-Plasmaphysik e.V., Greifswald (Germany)

January 1997

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F98B291+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Untersuchungen zum Elektron-Loch-Plasma am direkten Halbleiter CdS

Kempf, K.

January 1984

With 119 refs.SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformatio...

Plasmaschweissen von Aluminiumwerkstoffen. T. 1: Plasma-Wechselstromschweissen

Nentwig, A.
Schweisstechnische Lehr- und Versuchsanstalt GmbH, Muenchen (Germany)

January 2000

Available from TIB Hannover: F03B1131 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische ...

DECOTEC - Plasma-CVD-Prozesse zur effizienten und sicheren Fertigung von innovativen, dekorativen Oberflaechen unter Produktionsbedingungen Abschlussbericht

Mohr, A.
Plasma Electronic GmbH, Neuenburg (Germany)

January 2004

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F04B1337 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Plasma-CVD-Beschichtung bei tiefen Temperaturen Abschlussbericht

Crummenauer, J.
Stock, H.R.
Forschungskuratorium Maschinenbau e.V., Frankfurt am Main (Germany)
Stiftung Inst. fuer Werkstofftechnik, Bremen (Germany)

January 1991

With 57 refs.Available from TIB Hannover: RA 2383(159) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / ...

Praeparation von Metall-dotierten a-C:H- und Diamantschichten mittels Plasma-unterstuetzter Verfahren Abschlussbericht

Benndorf, C.
Hamburg Univ. (Germany). Inst. fuer Physikalische Chemie
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

With 74 refs., 3 tabs., 42 figs.Available from TIB Hannover: FR 6990+a / FIZ - Fachinformationszzent...

Abscheidung von kohlenstoffbasierten Schichten im Grobvakuum mittels Mittelfrequenz-Plasma-CVD

Michler, T.
Fraunhofer-Institut fuer Schicht- und Oberflaechentechnik, Braunschweig (Germany)

January 1998

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RR 9195(6) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Schichtsystem- und Prozessentwicklung zur Vermeidung von Trennmitteln beim Aluminium-Druckguss - eine Systemloesung Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchungen zur Plasma-CVD-Beschichtung von Druckgusswerkzeugen. Hochskalierung des Plasma-CVD-Prozesses fuer die Beschichtung von Druckgusswerkzeugen. Pruefung von Funktionsmustern

Pfohl, C.
Rie, K.T.
Gebauer, A.
Boegel, F.
Koch, F.
Steffens, G.
Vollmer, T.
Zumkeller, M.
Roeders (G.A.) GmbH und Co. KG, Soltau (Germany)
Verschleiss-Schutz-Technik Keller GmbH und Co. KG, Schopfheim (Germany)
Technische Univ. Braunschweig (Germany). Inst. fuer Oberflaechentechnik und Plasmatechnische Werkstoffentwicklung

January 1999

Available from TIB Hannover: F97B1960+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisch...

Verfahrensgrundlagen zur Entwicklung mikrostrukturierter Materialsysteme durch Plasmaabscheidung mittels LPVD Vorlaeufiger Schlussbericht

Mai, H.
Akademie der Wissenschaften, Dresden (Germany). Zentralinstitut fuer Festkoerperphysik und Werkstofforschung
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

With 57 refs., 2 tabs., 12 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: D.Dt.F. AC 1000(44,25) / FIZ - Fac...

Industrielle Entwicklung der Mikrowellen-Plasmapolymerisation

Sellschopp, M.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Leybold-Heraeus G.m.b.H. und Co. K.G., Hanau (Germany)

January 1986

With 18 refs., 4 tabs., 31 figs.SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FI...

MO-CVD fuer Hartstoffschichten Teilvorhaben: Erprobung metallorganischer Verbindungen hinsichtlich der Temperaturabsenkung bei CVD-Prozessen. Schlussbericht

Szabo, A.
Keller, K.
Verschleiss-Schutz-Technik Dr. Ing. Klaus Keller, Schopfheim (Germany). Bereich Beschichtungstechnik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1989

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 5641 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Emissionsminderung von Schadstoffen aus Plasmaprozessen. Technische Realisierung an Plasma-CVD-Prozessen Abschlussbericht

Kroedel, G.
Fabian, L.
Centrotherm Elektrische Anlagen GmbH und Co., Dresden (Germany)

January 1995

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B2270+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Plasmanitrierung und Hartstoffbeschichtung von Werkzeugwerkstoffen in einem durchgaengigen PVD-Prozess

Ebersbach, G.
Kunath, F.
Gesellschaft fuer Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden/Chemnitz GmbH, Schmalkalden (Germany). Inst. fuer Physikalische und Mechanische Technologien

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: D.Dt.F.QN1(19,24) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB...

Entwicklung einer Plasma-Zentrifuge Statusbericht zum 10.9.1976

Kress, H.D.
McClure, J.J.
Simon, M.
Nathrath, N.
Mueck, G.
Bayerisches Staatsministerium fuer Wirtschaft und Verkehr, Muenchen (Germany, F.R.)
Uran-Isotopentrennungs-G.m.b.H. (URANIT), Juelich (Germany, F.R.)
Messerschmitt-Boelkow-Blohm G.m.b.H., Ottobrunn (Germany, F.R.). Unternehmensbereich Raumfahrt

January 1976

TIB Hannover: MU 8069 (329-76) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informa...

Plasmaschweissen von Aluminiumwerkstoffen. T. 2: Plasma-Pluspolschweissen Abschlussbericht

Dilthey, U.
Kabatnik, L.
Technische Hochschule Aachen (Germany). Lehrstuhl und Inst. fuer Schweisstechnische Fertigungsverfahren

January 2000

Available from TIB Hannover: F04B531 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Plasmatechnische Untersuchungen zur spektralen Strahlungsemission an Metall-Halogenid-Entladungen Abschlussbericht

Hess, H.
Schoepp, H.
Hartel, G.
Baudisch, M.
Freisinger, B.
Holz, L.
Institut fuer Niedertemperatur-Plasmaphysik e.V., Greifswald (Germany)

January 1997

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F98B291+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Untersuchungen zum Elektron-Loch-Plasma am direkten Halbleiter CdS

Kempf, K.

January 1984

With 119 refs.SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformatio...

Plasmaschweissen von Aluminiumwerkstoffen. T. 1: Plasma-Wechselstromschweissen

Nentwig, A.
Schweisstechnische Lehr- und Versuchsanstalt GmbH, Muenchen (Germany)

January 2000

Available from TIB Hannover: F03B1131 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische ...

DECOTEC - Plasma-CVD-Prozesse zur effizienten und sicheren Fertigung von innovativen, dekorativen Oberflaechen unter Produktionsbedingungen Abschlussbericht

Mohr, A.
Plasma Electronic GmbH, Neuenburg (Germany)

January 2004

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Plasma-CVD-Beschichtung metallischer Werkstoffe (Anlagenentwicklung) Schlussbericht

Abstract

Extracted data

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Abstract

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