Verschleissfeste PVD-/CVD-Trockenschmierstoffschichten fuer die umweltschonende und innovative Fertigung. Teilvorhaben 2: Oxidische Schichten Abschlussbericht

Winkler, G.
Ullrich, R.
Schiewe, H.
Pyritz, U.
Peuker, C.
Arndt, A.
Krueger, U.
Karras, B.
Siemens AG, Berlin (Germany). Corporate Technology (CT MM5)

Publication date

January 2002

Abstract

Available from TIB Hannover: F03B673 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

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Verschleissfeste PVD-/CVD-Trockenschmierstoffschichten fuer die umweltschonende und innovative Fertigung. Teilvorhaben 2: Oxidische Schichten Abschlussbericht

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