Untersuchungen zur Plasma-Jet-Abscheidung von Diamantschichten Abschlussbericht

Gesamtziel des Projektes waren systematische Untersuchungen zur Verbesserung des Plasma-Jet-Verfahrens hinsichtlich der Zuverlaessigkeit und Produktivitaet. Dazu wurden von den Wissenschaftlern des GPI umfangreiche technologische Untersuchungen zur Modifikation des Plasmatrons durchgefuehrt. Zum einen konnte die Lebensdauer des Plasmatrons erheblich gesteigert und der Arbeitsdruck- und Leistungsbereich erweitert werden. Zum anderen konnten wichtige Ergebnisse im Hinblick auf eine reinere Schicht, eine hoehere Depositionsrate, und eine groessere beschichtete Flaeche erreicht werden. Auch wurde eine Laserablationsanlage zur Diamantschichtglaettung/-strukturierung aufgebaut. Mit dieser Anlage konnte erfolgreich gezeigt werden, dass mit der Laserablation eing eeignetes Verfahren zur Verfuegung steht, um die mit dem Plasma-Jet-Verfahren abgeschiedenen Diamantschichten fuer diverse Anwendungen zu glaetten und zu strukturieren. Dabei wurde der Nachweis erbracht, dass sich dieses Verfahren auch fuer grossflaechige Bearbeitung von Diamantschichten eignet. (orig.)The aim of this project was the systematic investigation of the plasma-jet CVD process for improvement of its reliability and productivity. The scientists from the General Physics Institute Moscow have performed extensive investigations and modifications of the plasmatron. On this the lifetime of the plasmatron could be increased and the range of work pressure and efficiency have been extended. Additionally important results particularly with regard to pure diamond films with high quality, higher deposition rate and increased deposition area could be achieved. Furthermore a device for ablative laser smoothing and structuring of diamond films was built. With this new set-up the efficiency of laser smoothing and structuring of plasma-jet synthesised diamond films for special applications was demonstrated. The developed system can also be used for large area treatment of diamond films. (orig.)SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B1327+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman