Erzeugung, Charakterisierung und Abscheidung von ionisierten Clustern Schichten fuer die Optik. Abschlussbericht

In this project Au-coatings produced by ICB (Ionized Cluster Beam) were tested and analysed. They were compared to coatings produced by thermal evaporation, low voltage ionplating and anodic arc evaporation. As substrate mostly diamond turned Cu was used. Tested was e.g. adhesion, abrasion, durability and absorption at 10,6 #mu#m. Analytics contained EDX, WDX, REM, SIMS as well as x-ray diffraction. ICB-produced Au-films show enhanced adhesion and reflexion at 10,6 #mu#m, however ionplating-films are practically of the same quality. In addition to that the first Mo-films on Cu produced by the newly developed sputter cluster process were studied. They show good adhesion and from a minimum thickness of 250 nm on increased abrasion resistance. After additional processing the absorption of the films at 10,6 #mu#m is around 3%Im Rahmen des Projektes wurden mit dem ICB-Verfahren (ICB = Ionized Cluster Beam) hergestellte Au-Schichten getestet und analysiert. Zum Vergleich wurden Au-Schichten - vor allem auf diamantgedrehten Cu-Substraten - auch mit anderen Verfahren (Thermische Verdampfen, Niedervolt-Ionenplattieren, Anodische Lichtbogenverdampfung) mit und ohne Haftschicht hergestellt, getestet und analysiert. Die wichtigsten Testmethoden waren Haftfestigkeits- und Abriebtests sowie kalorimetrische Absorptionsmessungen bei 10,6#mu#m. Zur Analytik wurden vor allem EDX, WDX, REM, SIMS sowie Roentgenbeugung eingesetzt. ICB-erzeugte Au-Schichten weisen gegenueber konventionell erzeugten erhoehte Haftfestigkeit und Reflexion auf, die mit Ionenplattieren erzeugten Schichten sind praktisch ebenso gut. Daneben konnten die ersten mit dem neu entwickelten Sputter-Cluster-Verfahren hergestellten Mo-Schichten auf Cu untersucht werden. Sie weisen gute Schichthaftung auf, sind ab einer Schichtdicke von etwa 250nm wischfest und haben bei 10.6#mu#m - nach einer Nachbehandlung der Schichtoberflaeche - eine Reflektivitaet von etwa 97%SIGLEAvailable from TIB Hannover: D.Dt.F. QN1(1,30) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman