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Niedertemperatur-Sputterionenplattieren Abschlussbericht

Baehr, M.
Bennecker, H.
Schuessler, H.
Blumoehr, E.
Daube, C.
Hensel, B.
Hofmann, D.
Kopacz, U.
Kunkel, S.
Petersein, H.
Rack, A.
Rost, A.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Leybold A.G., Hanau (Germany)

Publication date

January 1992

Abstract

Available from TIB Hannover: F93B482+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman

Extracted data

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