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Oberflaechenanalytik an Plasmapolymerisationsschichten Abschlussbericht

Deimel, M.
Wolany, D.
Wiedmann, L.
Benninghoven, A.
Jahn, P.W.
Petrat, F.M.
Lipinsky, D.
Schmerling, C.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Muenster Univ. (Germany). Physikalisches Inst.

Publication date

January 1993

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B454+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekDEGerman

Extracted data

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