Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuss

Untersuchung des Amorphisierungsprozesses durch Ionenimplantation in den Systemen Mn-Al und Ni-Al

Seidel, A.
Kernforschungszentrum Karlsruhe G.m.b.H. (KfK) (Germany). Inst. fuer Nukleare Festkoerperphysik (INFP)

January 1989

SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszzentrum Kar...

Zyklische und statische Ermuedung von Siliziumnitridwerkstoffen bei Raumtemperatur

Weddigen, A.

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RR 1575(3) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Herstellung, Eigenschaften und Anwendungen von Duennschichttransistoren aus amorphem Silizium fuer die Grossflaechenelektronik

Otterbach, W.

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DW 5173 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Abscheidung von amorphem Silizium (a-Si:H) aus an einem heissen Blech zersetztem Silan

Horbach, C.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Schicht- und Ionentechnik
Aachen Technische Hochschule (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2552) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Reinigungsverfahren und Ionenimplantation bei Leistungshalbleiter-Bauelementen Schlussbericht

Gross, W.
Kuhnert, R.
Voss, P.
Schulze, H.J.
Loch, K.H.
Mitlehner, H.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Siemens A.G., Muenchen (Germany)
eupec G.m.b.H. und Co. K.G., Warstein-Belecke (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: FR 5361(3)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Untersuchung von Gasparametern und Hochrateneffekten einer Influenzdriftkammer

Broeders, R.W.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Kernphysik

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2577) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Umweltvorsorgepruefung im Forschungsbereich

Hirtz, W.
Huber, W.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Programmgruppe Systemforschung und Technologische Entwicklung

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2553) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Untersuchungen zur Ionenproduktion und Strahlformierung bei EZR-Ionenquellen

Krauss-Vogt, W.
Kernforschungsanlage Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Kernphysik

January 1986

TIB: RA 831 (2043) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informationsbibliot...

Amorphe Mischhalbleiter auf der Basis von Silizium fuer Tandemsolarzellen Schlussbericht

Bauer, G.H.
Weller, H.
Schumm, G.
Abel, C.D.
Eberhard, K.
Lotter, E.
Mohring, H.D.
Nebel, C.
Schubert, M.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Physikalische Elektronik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1989

SIGLETIB Hannover: FR 2241(Schl) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Infor...

Entwicklung der Anlagentechnik fuer grossflaechige Abscheidung von duennen Schichten aus amorphem Silizium und Siliziumverbindungen Schlussbericht

Reuschling, R.
Mueller, B.
Pfeiffer (Arthur) Vakuumtechnik, Wetzlar (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR6933 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisc...

Kalibrierung von Beschleunigungsaufnehmern bei mehrachsiger Anregung

Weissenborn, C.
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig (Germany). Abt. Mechanik und Akustik

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RO 3132(68) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tec...

Grundlagenuntersuchungen zur Rekombination in Silizium-Leistungsbauelementen Schlussbericht

Haecker, R.
Bohnert, G.
Kuerner, W.
Thonke, K.
Doernen, A.
Hangleiter, A.
Stuttgart Univ. (Germany). Physikalisches Inst.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 5361(1)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Entwicklung von wirtschaftlichen Verfahren zur primaeren und sekundaeren Ionenimplantation Abschlussbericht

Koerber, F.J.
Petersein, H.
Ranke, H. (comps.)
Leybold A.G., Hanau (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 6964+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Zur Kenntnis des Silaethens

Link, M.K.O.

January 1989

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DW 3508 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Kalibrierung von Piezo-Stellgliedern fuer die Rastersondenmikroskopie

Kraus, N.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Schicht- und Ionentechnik

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2483) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Untersuchung des Amorphisierungsprozesses durch Ionenimplantation in den Systemen Mn-Al und Ni-Al

Seidel, A.
Kernforschungszentrum Karlsruhe G.m.b.H. (KfK) (Germany). Inst. fuer Nukleare Festkoerperphysik (INFP)

January 1989

SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszzentrum Kar...

Zyklische und statische Ermuedung von Siliziumnitridwerkstoffen bei Raumtemperatur

Weddigen, A.

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RR 1575(3) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Herstellung, Eigenschaften und Anwendungen von Duennschichttransistoren aus amorphem Silizium fuer die Grossflaechenelektronik

Otterbach, W.

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DW 5173 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Abscheidung von amorphem Silizium (a-Si:H) aus an einem heissen Blech zersetztem Silan

Horbach, C.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Schicht- und Ionentechnik
Aachen Technische Hochschule (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2552) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Reinigungsverfahren und Ionenimplantation bei Leistungshalbleiter-Bauelementen Schlussbericht

Gross, W.
Kuhnert, R.
Voss, P.
Schulze, H.J.
Loch, K.H.
Mitlehner, H.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Siemens A.G., Muenchen (Germany)
eupec G.m.b.H. und Co. K.G., Warstein-Belecke (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: FR 5361(3)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Untersuchung von Gasparametern und Hochrateneffekten einer Influenzdriftkammer

Broeders, R.W.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Kernphysik

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2577) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Umweltvorsorgepruefung im Forschungsbereich

Hirtz, W.
Huber, W.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Programmgruppe Systemforschung und Technologische Entwicklung

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2553) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Untersuchungen zur Ionenproduktion und Strahlformierung bei EZR-Ionenquellen

Krauss-Vogt, W.
Kernforschungsanlage Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Kernphysik

January 1986

TIB: RA 831 (2043) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informationsbibliot...

Amorphe Mischhalbleiter auf der Basis von Silizium fuer Tandemsolarzellen Schlussbericht

Bauer, G.H.
Weller, H.
Schumm, G.
Abel, C.D.
Eberhard, K.
Lotter, E.
Mohring, H.D.
Nebel, C.
Schubert, M.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Physikalische Elektronik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1989

SIGLETIB Hannover: FR 2241(Schl) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Infor...

Entwicklung der Anlagentechnik fuer grossflaechige Abscheidung von duennen Schichten aus amorphem Silizium und Siliziumverbindungen Schlussbericht

Reuschling, R.
Mueller, B.
Pfeiffer (Arthur) Vakuumtechnik, Wetzlar (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR6933 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisc...

Kalibrierung von Beschleunigungsaufnehmern bei mehrachsiger Anregung

Weissenborn, C.
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig (Germany). Abt. Mechanik und Akustik

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RO 3132(68) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tec...

Grundlagenuntersuchungen zur Rekombination in Silizium-Leistungsbauelementen Schlussbericht

Haecker, R.
Bohnert, G.
Kuerner, W.
Thonke, K.
Doernen, A.
Hangleiter, A.
Stuttgart Univ. (Germany). Physikalisches Inst.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 5361(1)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Entwicklung von wirtschaftlichen Verfahren zur primaeren und sekundaeren Ionenimplantation Abschlussbericht

Koerber, F.J.
Petersein, H.
Ranke, H. (comps.)
Leybold A.G., Hanau (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 6964+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Zur Kenntnis des Silaethens

Link, M.K.O.

January 1989

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DW 3508 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Kalibrierung von Piezo-Stellgliedern fuer die Rastersondenmikroskopie

Kraus, N.
Forschungszentrum Juelich G.m.b.H. (KFA) (Germany). Inst. fuer Schicht- und Ionentechnik

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 831(2483) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Untersuchung des Amorphisierungsprozesses durch Ionenimplantation in den Systemen Mn-Al und Ni-Al

Seidel, A.
Kernforschungszentrum Karlsruhe G.m.b.H. (KfK) (Germany). Inst. fuer Nukleare Festkoerperphysik (INFP)

January 1989

SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszzentrum Kar...

Zyklische und statische Ermuedung von Siliziumnitridwerkstoffen bei Raumtemperatur

Weddigen, A.

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RR 1575(3) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Herstellung, Eigenschaften und Anwendungen von Duennschichttransistoren aus amorphem Silizium fuer die Grossflaechenelektronik

Otterbach, W.

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DW 5173 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuss

Abstract

Extracted data

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