Optisches Prozessieren Abschlussbericht

In this project several applications of optical heating in the areas of silicon preparation and solar cells technology were investigated. These investigations were based on the development of two kinds of optical heaters namely a linear zone heater for zone melting of silicon and a large area heater for heating or melting surface layers of silicon up to areas of 200 x 100 mm. Five different areas of applications were investigated: 1. Further development of the SSP technique. 2. The structural and electrical properties of polycrystalline silicon sheets or layers were improved significantly by large area melting of surface layers. 3. Several steps of solar cell processing were performed by rapid thermal processing using these optical heaters. 4. A technique for the deposition of silicon from the gas phase using these optical heaters was developed. 5. Thin film techniques for crystalline silicon were developed which can be used for the thin film solar cell technology. (orig./MM)In dem Vorhaben wurden verschiedene Moeglichkeiten des Einsatzes von optischer Strahlungsheizung in den Bereichen Praeparation von Silicium und Solarzellentechnologie untersucht. Wesentliche Vorbedingung fuer die Forschungsarbeiten war die Entwicklung von geeigneten Lampenoefen. Es wurden zum einen fokussierende Linearoefen entwickelt, die ein Zonenschmelzen von Silicum erlauben, zum anderen grossflaechige Strahlungsoefen, die es gestatten, Siliciumscheiben bis zur Groesse von 200 x 100 mm"2 bis zum Schmelzpunkt zu erhitzen. Es wurden 5 verschiedene Anwendungsbereiche der optischen Heizung untersucht: 1. Es wurde das SSP-Verfahren zur Herstellung von Siliciumbaendern weiterentwickelt. 2. Es wurden polykristalline Siliciumschichten grossflaechig erschmolzen und rekristallisiert. 3. Es wurden Schritte der Prozesstechnik fuer Silicium-Solarzellen mit optischer Heizung erforscht. 4. Es wurde eine Technik zur Abscheidung von Silicium aus der Gasphase (CVD) mit optischer Heizung entwickelt. 5. Es wurden Duennschichttechnologien fuer Silicium entwickelt, die die Basis fuer die Technik der kristallinen Silicium-Duennschicht-Solarzelle bilden. (orig./MM)SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B1892+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman