Submikron-Technologie fuer Millimeterwellensensoren auf hoch-resistivem Silizium Abschlussbericht

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Anwendung frequenzanaloger Kraftsensoren in der Waegetechnik. Abschlussbericht

Selig, K.P.
Fischle, D.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut GmbH und Co. KG, Balingen (Germany)

January 1992

With 12 refs., 17 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B645+a / FIZ - Fachinformationszzentrum ...

Entwicklung von Siliciumscheiben fuer die Submicron-Technologie. Publikationen 1992-1997. T. A

Wacker Chemitronic Gesellschaft fuer Elektronik-Grundstoffe mbH, Burghausen (Germany)

January 1997

Available from TIB Hannover: F97B1613+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisch...

Systemtechnologien fuer Mikro- und Millimeterwellenschaltungen -MWS- Gemeinsamer Abschlussbericht

Daimler-Benz Aerospace, Ulm (Germany). Produktbereich Sensorsysteme
Arburg Maschinenfabrik Hehl und Soehne GmbH und Co. KG, Lossburg (Germany)
Technische Univ. Chemnitz-Zwickau, Chemnitz (Germany). Inst. fuer Physik
Ulm Univ. (Germany). Abt. Mikrowellentechnik
Technische Univ. Berlin (Germany). Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik
Rosenberger Messtechnik GmbH Sachsen, Radeberg (Germany)
Blasberg Oberflaechentechnik GmbH, Solingen (Germany)
Gesellschaft fuer Mobil- und Satellitenfunktechnik mbH, Kamp-Lintfort (Germany)
F und K Delvotec Bondtechnik GmbH, Oberhaching (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F98B125 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Submikron-Technologien zur Herstellung monolithisch integrierter Millimeterwellenbauelemente auf hochohmigem Silizium Abschlussbericht

Wilhelm, A.
Strohm, K.
Piper, E.
Luy, J.F.
Casel, A.
Hersener, J.
Jorke, H.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
AEG-Telefunken Anlagentechnik, Ulm (Germany). Forschungsinstitut

January 1988

With 40 refs., 4 tabs., 75 figs.SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FI...

Systemtechnologien fuer Mikro- und Millimeterwellenschaltungen. Teilvorhaben: Millimeterwellensysteme

Schmid, G.
Arburg Maschinenfabrik Hehl und Soehne GmbH und Co. KG, Lossburg (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F96B1737+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Systemtechnologien fuer Mikro- und Millimeterwellenschaltungen. Teilvorhaben: Durchfuehrungen durch Kunststoffgehaeuse fuer die Anwendung im Mikrowellen- und Millimeterwellengebiet Zwischenbericht und Abschlussbericht

Gesellschaft fuer Mobil- und Satellitenfunktechnik mbH, Kamp-Lintfort (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F96B1839+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Millimeterwellen-Molekuelspektroskopie im Labor und im interstellaren Medium

Bester, M. (Koeln Univ. (Germany, F.R.). 1. Physikalisches Inst.)

January 1984

With many refs.Copy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszz...

Millimeterwellen-Sensoren fuer den Nahbereich

Lange, M.

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DW 5617 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Verbundprojekt Submikron. Teilprojekt: Entwicklung von Resists fuer die Roentgenlithographie 2. Zwischenbericht

Doessel, K.F.
Theis, J.
Hoechst A.G., Frankfurt am Main (Germany)

January 1986

TIB Hannover: D.Dt.F. AC 1000(32,41) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Entwicklung vertikaler sub-Mikrometer- und Nanometer-MOS-Strukturen in Silizium Abschlussbericht

Eisele, I.
Baumgaertner, H.
Wittmann, F.
Strass, A.
Hansch, W.
Bieringer, P.
Fehlauer, G.
Geiger, H.
Gossner, H.
Kaesen, F.
Messarosch, H.
Neubecker, A.
Rao, V.R.
Rupp, T.
Universitaet der Bundeswehr Muenchen, Neubiberg (Germany). Inst. fuer Physik

January 1996

Available from TIB Hannover: F97B2135+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisch...

Selektiver S-Band-Messempfaenger fuer einen Millimeterwellen-Netzwerkanalysator

Prinz, O.
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt (Germany). Inst. fuer Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik

January 2003

SIGLEAvailable from TIB Hannover: ZA5141(6936) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Zusammenfassende Darstellung der Forschungsergebnisse zum Thema Praezisionsantriebe fuer den Mikrometer- und Submikrometerbereich. T. 2

Technische Univ. Chemnitz-Zwickau, Chemnitz (Germany). Fakultaet fuer Elektrotechnik und Informationstechnik

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B1104 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Multifunktionale Mikrowellen- und Millimeterwellenmodule. Teilvorhaben: Funktionelle Beschichtungen Abschlussbericht

Ostwald, R.
Daimler Benz AG, Ulm (Germany). Forschungszentrum

January 1999

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F00B1178+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Millimeterwellen-Dopplerradar mit Streckenpunkterkennung

Honeywell Sondertechnik, Maintal (Germany, F.R.)
Technische Univ. Braunschweig (Germany, F.R.). Inst. fuer Verkehr, Eisenbahnwesen und Verkehrssicherung
Deutsche Bundesbahn, Muenchen (Germany, F.R.)
Gesellschaft fuer Reaktorsicherheit m.b.H. (GRS), Muenchen (Germany, F.R.)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie, Bonn (Germany, F.R.)

January 1982

TIB Hannover: AC 6584 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informationsbibl...

Gasphasenabscheidung von Siliciumnitrid-Sinterpulvern Abschlussbericht

Schulz, O.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Berlin Technische Univ. (Germany). Inst. fuer Nichtmetallische Werkstoffe

January 1989

With 66 refs., 25 tabs., 72 figs.TIB Hannover: FR 3100 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / ...

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Anwendung frequenzanaloger Kraftsensoren in der Waegetechnik. Abschlussbericht

Selig, K.P.
Fischle, D.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut GmbH und Co. KG, Balingen (Germany)

January 1992

With 12 refs., 17 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B645+a / FIZ - Fachinformationszzentrum ...

Entwicklung von Siliciumscheiben fuer die Submicron-Technologie. Publikationen 1992-1997. T. A

Wacker Chemitronic Gesellschaft fuer Elektronik-Grundstoffe mbH, Burghausen (Germany)

January 1997

Available from TIB Hannover: F97B1613+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisch...

Systemtechnologien fuer Mikro- und Millimeterwellenschaltungen -MWS- Gemeinsamer Abschlussbericht

Daimler-Benz Aerospace, Ulm (Germany). Produktbereich Sensorsysteme
Arburg Maschinenfabrik Hehl und Soehne GmbH und Co. KG, Lossburg (Germany)
Technische Univ. Chemnitz-Zwickau, Chemnitz (Germany). Inst. fuer Physik
Ulm Univ. (Germany). Abt. Mikrowellentechnik
Technische Univ. Berlin (Germany). Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik
Rosenberger Messtechnik GmbH Sachsen, Radeberg (Germany)
Blasberg Oberflaechentechnik GmbH, Solingen (Germany)
Gesellschaft fuer Mobil- und Satellitenfunktechnik mbH, Kamp-Lintfort (Germany)
F und K Delvotec Bondtechnik GmbH, Oberhaching (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F98B125 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Submikron-Technologien zur Herstellung monolithisch integrierter Millimeterwellenbauelemente auf hochohmigem Silizium Abschlussbericht

Wilhelm, A.
Strohm, K.
Piper, E.
Luy, J.F.
Casel, A.
Hersener, J.
Jorke, H.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
AEG-Telefunken Anlagentechnik, Ulm (Germany). Forschungsinstitut

January 1988

With 40 refs., 4 tabs., 75 figs.SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FI...

Systemtechnologien fuer Mikro- und Millimeterwellenschaltungen. Teilvorhaben: Millimeterwellensysteme

Schmid, G.
Arburg Maschinenfabrik Hehl und Soehne GmbH und Co. KG, Lossburg (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F96B1737+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Systemtechnologien fuer Mikro- und Millimeterwellenschaltungen. Teilvorhaben: Durchfuehrungen durch Kunststoffgehaeuse fuer die Anwendung im Mikrowellen- und Millimeterwellengebiet Zwischenbericht und Abschlussbericht

Gesellschaft fuer Mobil- und Satellitenfunktechnik mbH, Kamp-Lintfort (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F96B1839+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Millimeterwellen-Molekuelspektroskopie im Labor und im interstellaren Medium

Bester, M. (Koeln Univ. (Germany, F.R.). 1. Physikalisches Inst.)

January 1984

With many refs.Copy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszz...

Millimeterwellen-Sensoren fuer den Nahbereich

Lange, M.

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DW 5617 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Verbundprojekt Submikron. Teilprojekt: Entwicklung von Resists fuer die Roentgenlithographie 2. Zwischenbericht

Doessel, K.F.
Theis, J.
Hoechst A.G., Frankfurt am Main (Germany)

January 1986

TIB Hannover: D.Dt.F. AC 1000(32,41) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Entwicklung vertikaler sub-Mikrometer- und Nanometer-MOS-Strukturen in Silizium Abschlussbericht

Eisele, I.
Baumgaertner, H.
Wittmann, F.
Strass, A.
Hansch, W.
Bieringer, P.
Fehlauer, G.
Geiger, H.
Gossner, H.
Kaesen, F.
Messarosch, H.
Neubecker, A.
Rao, V.R.
Rupp, T.
Universitaet der Bundeswehr Muenchen, Neubiberg (Germany). Inst. fuer Physik

January 1996

Available from TIB Hannover: F97B2135+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisch...

Selektiver S-Band-Messempfaenger fuer einen Millimeterwellen-Netzwerkanalysator

Prinz, O.
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt (Germany). Inst. fuer Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik

January 2003

SIGLEAvailable from TIB Hannover: ZA5141(6936) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Zusammenfassende Darstellung der Forschungsergebnisse zum Thema Praezisionsantriebe fuer den Mikrometer- und Submikrometerbereich. T. 2

Technische Univ. Chemnitz-Zwickau, Chemnitz (Germany). Fakultaet fuer Elektrotechnik und Informationstechnik

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B1104 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techni...

Multifunktionale Mikrowellen- und Millimeterwellenmodule. Teilvorhaben: Funktionelle Beschichtungen Abschlussbericht

Ostwald, R.
Daimler Benz AG, Ulm (Germany). Forschungszentrum

January 1999

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F00B1178+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Millimeterwellen-Dopplerradar mit Streckenpunkterkennung

Honeywell Sondertechnik, Maintal (Germany, F.R.)
Technische Univ. Braunschweig (Germany, F.R.). Inst. fuer Verkehr, Eisenbahnwesen und Verkehrssicherung
Deutsche Bundesbahn, Muenchen (Germany, F.R.)
Gesellschaft fuer Reaktorsicherheit m.b.H. (GRS), Muenchen (Germany, F.R.)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie, Bonn (Germany, F.R.)

January 1982

TIB Hannover: AC 6584 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informationsbibl...

Gasphasenabscheidung von Siliciumnitrid-Sinterpulvern Abschlussbericht

Schulz, O.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Berlin Technische Univ. (Germany). Inst. fuer Nichtmetallische Werkstoffe

January 1989

With 66 refs., 25 tabs., 72 figs.TIB Hannover: FR 3100 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / ...

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren Anwendung frequenzanaloger Kraftsensoren in der Waegetechnik. Abschlussbericht

Selig, K.P.
Fischle, D.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut GmbH und Co. KG, Balingen (Germany)

January 1992

With 12 refs., 17 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B645+a / FIZ - Fachinformationszzentrum ...

Entwicklung von Siliciumscheiben fuer die Submicron-Technologie. Publikationen 1992-1997. T. A

Wacker Chemitronic Gesellschaft fuer Elektronik-Grundstoffe mbH, Burghausen (Germany)

January 1997

Available from TIB Hannover: F97B1613+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technisch...

Systemtechnologien fuer Mikro- und Millimeterwellenschaltungen -MWS- Gemeinsamer Abschlussbericht

Daimler-Benz Aerospace, Ulm (Germany). Produktbereich Sensorsysteme
Arburg Maschinenfabrik Hehl und Soehne GmbH und Co. KG, Lossburg (Germany)
Technische Univ. Chemnitz-Zwickau, Chemnitz (Germany). Inst. fuer Physik
Ulm Univ. (Germany). Abt. Mikrowellentechnik
Technische Univ. Berlin (Germany). Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik
Rosenberger Messtechnik GmbH Sachsen, Radeberg (Germany)
Blasberg Oberflaechentechnik GmbH, Solingen (Germany)
Gesellschaft fuer Mobil- und Satellitenfunktechnik mbH, Kamp-Lintfort (Germany)
F und K Delvotec Bondtechnik GmbH, Oberhaching (Germany)

January 1996

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Submikron-Technologie fuer Millimeterwellensensoren auf hoch-resistivem Silizium Abschlussbericht

Abstract

Extracted data

Submikron-Technologie fuer Millimeterwellensensoren auf hoch-resistivem Silizium Abschlussbericht

Abstract

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