LEGUAN - Transfer von Duennschichten in die Dickschichttechnik Abschlussbericht

Kiesewetter, O.
Kathe, E.
Umweltsensortechnik GmbH, Geschwenda (Germany)

Publication date

January 2001

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(101,57) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

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