Roentgenmasken- und Roentgenuebertragungstechnik im unteren Submikrometerbereich Gemeinsamer Abschlussbericht

Hersener, J.
Janssen, R.
Piper, E.
Sasse, E.
Wilhelm, A.
Conzelmann, H.
Gauger, H.
Isernhagen, R.
Maehner, C.
Ropp, H. von der
Ruether, M.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Telefunken Electronic G.m.b.H., Heilbronn (Germany)
Daimler-Benz AG, Ulm (Germany). Forschungsinstitut

Publication date

January 1991

Abstract

With 21 refs., 4 tabs., 47 figs.Available from FIZ Karlsruhe / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman

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Roentgenmasken- und Roentgenuebertragungstechnik im unteren Submikrometerbereich Gemeinsamer Abschlussbericht

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