Qualifizierung von Pruefverfahren und Standards fuer die Duennschichttechnologie Abschlussbericht

Vetters, H. (Stiftung Inst. fuer Werkstofftechnik, Bremen (Germany))
Stock, H.R.
Schulz, A.
Bochum Univ. (Germany). Inst. fuer Werkstoffe
Halle-Wittenberg Univ., Halle (Germany). Fachbereich Physik
IFOS - Institut fuer Oberflaechen- und Schichtanalytik GmbH, Kaiserslautern (Germany)
Fraunhofer-Institut fuer Werkstoffmechanik (IWM), Freiburg im Breisgau (Germany)
Fraunhofer-Institut fuer Schicht- und Oberflaechentechnik, Braunschweig (Germany)
Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin (Germany)
Technische Univ. Bergakademie Freiberg (Germany). Inst. fuer Werkstofftechnik
Stiftung Inst. fuer Werkstofftechnik, Bremen (Germany)
Staatliches Materialpruefungsamt Nordrhein-Westfalen, Dortmund (Germany)

Publication date

January 1996

Abstract

Available from TIB Hannover: F96B1265 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

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