Komponenten fuer eine Plasmafokusquelle fuer die Roentgenlithographie Schlussbericht

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Entwicklung einer Plasmaschneidtechnologie nach dem 'Saege-Prinzip' zum Zerteilen nuklearer Komponenten grosser Wandstaerken unter Wasser Schlussbericht

Bach, F.W.
Jaeger, M.
Hannover Univ. (Germany). Inst. fuer Werkstoffkunde
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1989

With 34 refs., 2 tabs., 101 figs.SIGLETIB Hannover: FR 2926+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karls...

Plasmakristall

Thomas, H.M.
Max-Planck-Institut fuer Extraterrestrische Physik, Garching (Germany)

January 1996

Available from TIB Hannover: RA 234:ET(265) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Komponenten fuer eine Plasmafokusquelle fuer die Roentgenlithographie Schlussbericht

Siegel, A.
Zeiss (C.), Oberkochen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1988

With 1 ref., 12 figs.SIGLETIB: FR 3470 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Plasmastrahlungsquelle fuer den industriellen Einsatz in der Roentgenlithographie

Richter, F.
Aachen Technische Hochschule (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: DW 2914 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Entwicklung eines Plasmasystems als Strahlenquelle fuer die Roentgenmikroskopie

Neff, W.
Lebert, R.
Holz, R.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: FR 6115+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Weiterentwicklung eines Plasmafokus hinsichtlich Leistung und Standzeit, um ihn als Roentgenstrahlungsquelle fuer Labormaskaligner in der Halbleiterindustrie nutzen zu koennen Schlussbericht

Neff, W.
Richter, F. (Aachen Technische Hochschule (Germany). Lehrstuhl fuer Lasertechnik)
Cullmann, E.
Feick, E.
Rohrmaoser, W.
Vach, W. (Suess (K.) K.G. G.m.b.H. and Co., Garching (Germany))
Aachen Technische Hochschule (Germany). Lehrstuhl fuer Lasertechnik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Suess (K.) K.G. G.m.b.H. and Co., Garching (Germany)

January 1989

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 5447 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Entwicklung von Resists fuer Roentgenlithographie Abschlussbericht

Dammel, R.
Doessel, K.F.
Lingnau, J.
Theis, J.
Hoechst A.G., Frankfurt am Main (Germany)

January 1987

TIB Hannover: FR 3533+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informationsbi...

Abbildungen von Mikrostrukturen mit Roentgenstrahlung und mit einem Plasmasystem als Roentgenstrahlungsquelle

Schmahl, G.
Goettingen Univ. (Germany). Forschungseinrichtung Roentgenphysik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

Available from TIB Hannover: FR 6309 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Gepulste Kohlenstoffplasmaquellen fuer Plasmaoeffnungsschalter

Lion, S.

January 1991

SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszzentrum Kar...

Das Frequenzspektrum einer kompressiblen Plasmaschicht bei kleinem Plasmawiderstand

Stierstorfer, H.

January 1988

SIGLETIB Hannover: DR 5180 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Information...

Untersuchungen von Plasmastrahl-Zuendsystemen fuer den Einsatz in Magerkonzept-Ottomotoren

Kupe, K.
Aachen Technische Hochschule (Germany). Fakultaet fuer Bergbau und Huettenwesen

January 1988

SIGLETIB Hannover: DR 7241 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Information...

Plasma-Strahlungsquellen. Plasmacharakterisierung von Laser- und Roentgenquellen. Abschlussbericht

Bochum Univ. (Germany). Arbeitsgemeinschaft Plasmaphysik (APP)

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B740+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Grundlagen zum lokalen Hochrate-Plasmaaetzen zur Veredelung von optischen Oberflaechen. Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchung des Hochrate-Plasmaaetzens auf Anwendbarkeit von Asphaerenflaechen fuer Hochleistungs-Lithographieobjektive Abschlussbericht

Weiser, M.
Zeiss (C.), Oberkochen (Germany)

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(91,7) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - T...

Die stromtragende Plasmalinse, eine effektive Moeglichkeit zur Fokussierung hochenergetischer Teilchenstrahlen

Tauschwitz, A.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH, Darmstadt (Germany)
Technische Hochschule Darmstadt (Germany). Fachbereich 5 - Physik

January 1993

Available from TIB Hannover: RA 3692(93-31) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Stromskalierung von Plasmafokusanlagen

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Entwicklung einer Plasmaschneidtechnologie nach dem 'Saege-Prinzip' zum Zerteilen nuklearer Komponenten grosser Wandstaerken unter Wasser Schlussbericht

Bach, F.W.
Jaeger, M.
Hannover Univ. (Germany). Inst. fuer Werkstoffkunde
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1989

With 34 refs., 2 tabs., 101 figs.SIGLETIB Hannover: FR 2926+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karls...

Plasmakristall

Thomas, H.M.
Max-Planck-Institut fuer Extraterrestrische Physik, Garching (Germany)

January 1996

Available from TIB Hannover: RA 234:ET(265) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Komponenten fuer eine Plasmafokusquelle fuer die Roentgenlithographie Schlussbericht

Siegel, A.
Zeiss (C.), Oberkochen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1988

With 1 ref., 12 figs.SIGLETIB: FR 3470 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Plasmastrahlungsquelle fuer den industriellen Einsatz in der Roentgenlithographie

Richter, F.
Aachen Technische Hochschule (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: DW 2914 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Entwicklung eines Plasmasystems als Strahlenquelle fuer die Roentgenmikroskopie

Neff, W.
Lebert, R.
Holz, R.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: FR 6115+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Weiterentwicklung eines Plasmafokus hinsichtlich Leistung und Standzeit, um ihn als Roentgenstrahlungsquelle fuer Labormaskaligner in der Halbleiterindustrie nutzen zu koennen Schlussbericht

Neff, W.
Richter, F. (Aachen Technische Hochschule (Germany). Lehrstuhl fuer Lasertechnik)
Cullmann, E.
Feick, E.
Rohrmaoser, W.
Vach, W. (Suess (K.) K.G. G.m.b.H. and Co., Garching (Germany))
Aachen Technische Hochschule (Germany). Lehrstuhl fuer Lasertechnik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Suess (K.) K.G. G.m.b.H. and Co., Garching (Germany)

January 1989

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 5447 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Entwicklung von Resists fuer Roentgenlithographie Abschlussbericht

Dammel, R.
Doessel, K.F.
Lingnau, J.
Theis, J.
Hoechst A.G., Frankfurt am Main (Germany)

January 1987

TIB Hannover: FR 3533+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informationsbi...

Abbildungen von Mikrostrukturen mit Roentgenstrahlung und mit einem Plasmasystem als Roentgenstrahlungsquelle

Schmahl, G.
Goettingen Univ. (Germany). Forschungseinrichtung Roentgenphysik
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

Available from TIB Hannover: FR 6309 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Gepulste Kohlenstoffplasmaquellen fuer Plasmaoeffnungsschalter

Lion, S.

January 1991

SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszzentrum Kar...

Das Frequenzspektrum einer kompressiblen Plasmaschicht bei kleinem Plasmawiderstand

Stierstorfer, H.

January 1988

SIGLETIB Hannover: DR 5180 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Information...

Untersuchungen von Plasmastrahl-Zuendsystemen fuer den Einsatz in Magerkonzept-Ottomotoren

Kupe, K.
Aachen Technische Hochschule (Germany). Fakultaet fuer Bergbau und Huettenwesen

January 1988

SIGLETIB Hannover: DR 7241 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Information...

Plasma-Strahlungsquellen. Plasmacharakterisierung von Laser- und Roentgenquellen. Abschlussbericht

Bochum Univ. (Germany). Arbeitsgemeinschaft Plasmaphysik (APP)

January 1993

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B740+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Grundlagen zum lokalen Hochrate-Plasmaaetzen zur Veredelung von optischen Oberflaechen. Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchung des Hochrate-Plasmaaetzens auf Anwendbarkeit von Asphaerenflaechen fuer Hochleistungs-Lithographieobjektive Abschlussbericht

Weiser, M.
Zeiss (C.), Oberkochen (Germany)

January 2001

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(91,7) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - T...

Die stromtragende Plasmalinse, eine effektive Moeglichkeit zur Fokussierung hochenergetischer Teilchenstrahlen

Tauschwitz, A.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH, Darmstadt (Germany)
Technische Hochschule Darmstadt (Germany). Fachbereich 5 - Physik

January 1993

Available from TIB Hannover: RA 3692(93-31) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Stromskalierung von Plasmafokusanlagen

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Entwicklung einer Plasmaschneidtechnologie nach dem 'Saege-Prinzip' zum Zerteilen nuklearer Komponenten grosser Wandstaerken unter Wasser Schlussbericht

Bach, F.W.
Jaeger, M.
Hannover Univ. (Germany). Inst. fuer Werkstoffkunde
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1989

With 34 refs., 2 tabs., 101 figs.SIGLETIB Hannover: FR 2926+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karls...

Plasmakristall

Thomas, H.M.
Max-Planck-Institut fuer Extraterrestrische Physik, Garching (Germany)

January 1996

Available from TIB Hannover: RA 234:ET(265) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Komponenten fuer eine Plasmafokusquelle fuer die Roentgenlithographie Schlussbericht

Abstract

Extracted data

Komponenten fuer eine Plasmafokusquelle fuer die Roentgenlithographie Schlussbericht

Abstract

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