Mikrosysteme in CMOS-Technologie - MIMOS. Teilvorhaben: Integrierte Drucksensoren fuer den industriellen Bereich Abschlussbericht

Schwarz, M.
Wagner, D.
Festo AG und Co., Esslingen (Germany)

Publication date

January 2001

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B675+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

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Mikrosysteme in CMOS-Technologie - MIMOS. Teilvorhaben: Integrierte Drucksensoren fuer den industriellen Bereich Abschlussbericht

Schwarz, M.
Wagner, D.
Festo AG und Co., Esslingen (Germany)

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Mikrosysteme in CMOS-Technologie - MIMOS. Teilvorhaben: Integrierte Drucksensoren fuer den industriellen Bereich Abschlussbericht

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