Methoden und Werkzeuge fuer den Mikrosystementwurf. Verifikation von Entwurfswerkzeugen mit elektromechanischen Sensoren Abschlussbericht

Menzel
AST Angewandte System-Technik GmbH Energie-, Mess-, und Umwelttechnik, Dresden (Germany)

Publication date

January 1994

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SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B19 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

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