Einzelquellen CVD-Verfahren fuer die Abscheidung von Perovskit-Oxidschichten auf Flaechen und komplizierten Formen Abschlussbericht

Stadel, O.
Klippe, L.
Moskovskij Gosudarstvennyj Univ., Moscow (USSR). Dept. of Chemistry
Kaul, A.R.
Samoylenkov, S.V.
Gorbenko, O.
Wahl, G.
Schmidt, J.
Technische Univ. Braunschweig (Germany). Inst. fuer Oberflaechentechnik und Plasmatechnische Werkstoffentwicklung

Publication date

January 1998

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F99B744+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

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