Laser-Plasmaabscheidung auf 8-Zoll Substratdurchmesser fuer die Kommunikationstechnik der Zukunft Abschlussbericht

Lorenz, M.
Natusch, D.
Hochmuth, H.
Leipzig Univ. (Germany). Abt. Halbleiterphysik

Publication date

January 2001

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B312+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSaechsisches Staatsministerium fuer Wissenschaft und Kunst, Dresden (Germany)DEGerman

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