Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Untersuchung der Plasmabremsstrahlung im nahen Infrarot zur Bestimmung der effektiven Ionenladungszahl und der Regelung der Elektronendichte in Tokamaks

Kurzan, B.
Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, Garching (Germany)

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 71(III/177) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - ...

Stromskalierung von Plasmafokusanlagen

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Roentgenmessungen an sehr schweren Ionen mit wenigen Elektronen

Finlayson, K.D.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung m.b.H. (GSI), Darmstadt (Germany)
Heidelberg Univ. (Germany). Naturwissenschaftlich-Mathematische Gesamtfakultaet

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA3692(92-18) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - T...

Plasma Immersions Ionenimplantation. Teilvorhaben: Anwendungsorientierte Grundlagen der PII Abschlussbericht

Rauschenbach, B.
Ensinger, W.
Augsburg Univ. (Germany). Inst. fuer Physik

January 1997

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F97B2190+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Theorie der Randschicht eines schwach ionisierten Hochfrequenz-Plasmas

Biehler, S.

January 1991

Available from TIB Hannover: DW 8116 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Ionenstrahlmischen: Statisches und dynamisches Ionenstrahlmischen

Lieb, K.P. (comp.)
Goettingen Univ. (Germany). 2. Physikalisches Inst.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: F93B436 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Reinigungsverfahren und Ionenimplantation bei Leistungshalbleiter-Bauelementen Schlussbericht

Gross, W.
Kuhnert, R.
Voss, P.
Schulze, H.J.
Loch, K.H.
Mitlehner, H.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Siemens A.G., Muenchen (Germany)
eupec G.m.b.H. und Co. K.G., Warstein-Belecke (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: FR 5361(3)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Plasma-Immersions-Implantation. Teilvorhaben: Untersuchung von Impulsgeneratoren auf Halbleiterbasis fuer die Ionenimplantation Abschlussbericht

Klein, J.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(41,54) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - ...

Bestimmung der effektiven Ionenladungszahl eines Plasmas aus der Bremsstrahlung im nahen Infrarot

Engelhard, M.
Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, Garching (Germany)

January 1990

SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszzentrum Kar...

Die Dynamik von Strahlenschaeden durch fokussierte Ionenstrahlen am Beispiel der Ionenstrahlsynthese

Hausmann, S.
Forschungszentrum Rossendorf e.V. (FZR), Dresden (Germany). Inst. fuer Ionenstrahlphysik und Materialforschung

January 2001

Available from TIB Hannover: RR 1847(313) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Plasmakristall

Thomas, H.M.
Max-Planck-Institut fuer Extraterrestrische Physik, Garching (Germany)

January 1996

Available from TIB Hannover: RA 234:ET(265) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Entwicklung eines Plasmasystems als Strahlenquelle fuer die Roentgenmikroskopie

Neff, W.
Lebert, R.
Holz, R.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: FR 6115+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Verfahrens- und Anlagenentwicklung zum plasmagestuetzten Reflowloeten elektronischer Baugruppen

Sauer, W.
Wolter, K.J. (eds.)

January 2000

Available from TIB Hannover: RS 1498(3)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Entwicklung von wirtschaftlichen Verfahren zur primaeren und sekundaeren Ionenimplantation Abschlussbericht

Koerber, F.J.
Petersein, H.
Ranke, H. (comps.)
Leybold A.G., Hanau (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 6964+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Untersuchungen an substituierten Plasmalogenen

Lutz, A.

January 1991

Available from TIB Hannover: DW 7983 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Untersuchung der Plasmabremsstrahlung im nahen Infrarot zur Bestimmung der effektiven Ionenladungszahl und der Regelung der Elektronendichte in Tokamaks

Kurzan, B.
Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, Garching (Germany)

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 71(III/177) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - ...

Stromskalierung von Plasmafokusanlagen

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Roentgenmessungen an sehr schweren Ionen mit wenigen Elektronen

Finlayson, K.D.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung m.b.H. (GSI), Darmstadt (Germany)
Heidelberg Univ. (Germany). Naturwissenschaftlich-Mathematische Gesamtfakultaet

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA3692(92-18) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - T...

Plasma Immersions Ionenimplantation. Teilvorhaben: Anwendungsorientierte Grundlagen der PII Abschlussbericht

Rauschenbach, B.
Ensinger, W.
Augsburg Univ. (Germany). Inst. fuer Physik

January 1997

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F97B2190+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Tech...

Theorie der Randschicht eines schwach ionisierten Hochfrequenz-Plasmas

Biehler, S.

January 1991

Available from TIB Hannover: DW 8116 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Ionenstrahlmischen: Statisches und dynamisches Ionenstrahlmischen

Lieb, K.P. (comp.)
Goettingen Univ. (Germany). 2. Physikalisches Inst.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: F93B436 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Reinigungsverfahren und Ionenimplantation bei Leistungshalbleiter-Bauelementen Schlussbericht

Gross, W.
Kuhnert, R.
Voss, P.
Schulze, H.J.
Loch, K.H.
Mitlehner, H.
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)
Siemens A.G., Muenchen (Germany)
eupec G.m.b.H. und Co. K.G., Warstein-Belecke (Germany)

January 1990

Available from TIB Hannover: FR 5361(3)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Plasma-Immersions-Implantation. Teilvorhaben: Untersuchung von Impulsgeneratoren auf Halbleiterbasis fuer die Ionenimplantation Abschlussbericht

Klein, J.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)

January 1996

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(41,54) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - ...

Bestimmung der effektiven Ionenladungszahl eines Plasmas aus der Bremsstrahlung im nahen Infrarot

Engelhard, M.
Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, Garching (Germany)

January 1990

SIGLECopy held by FIZ Karlsruhe; available from UB/TIB Hannover / FIZ - Fachinformationszzentrum Kar...

Die Dynamik von Strahlenschaeden durch fokussierte Ionenstrahlen am Beispiel der Ionenstrahlsynthese

Hausmann, S.
Forschungszentrum Rossendorf e.V. (FZR), Dresden (Germany). Inst. fuer Ionenstrahlphysik und Materialforschung

January 2001

Available from TIB Hannover: RR 1847(313) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Plasmakristall

Thomas, H.M.
Max-Planck-Institut fuer Extraterrestrische Physik, Garching (Germany)

January 1996

Available from TIB Hannover: RA 234:ET(265) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Entwicklung eines Plasmasystems als Strahlenquelle fuer die Roentgenmikroskopie

Neff, W.
Lebert, R.
Holz, R.
Fraunhofer-Institut fuer Lasertechnik (ILT), Aachen (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1992

Available from TIB Hannover: FR 6115+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische...

Verfahrens- und Anlagenentwicklung zum plasmagestuetzten Reflowloeten elektronischer Baugruppen

Sauer, W.
Wolter, K.J. (eds.)

January 2000

Available from TIB Hannover: RS 1498(3)+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technis...

Entwicklung von wirtschaftlichen Verfahren zur primaeren und sekundaeren Ionenimplantation Abschlussbericht

Koerber, F.J.
Petersein, H.
Ranke, H. (comps.)
Leybold A.G., Hanau (Germany)
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)

January 1991

SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 6964+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Techn...

Untersuchungen an substituierten Plasmalogenen

Lutz, A.

January 1991

Available from TIB Hannover: DW 7983 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische I...

Untersuchung der Plasmabremsstrahlung im nahen Infrarot zur Bestimmung der effektiven Ionenladungszahl und der Regelung der Elektronendichte in Tokamaks

Kurzan, B.
Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, Garching (Germany)

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 71(III/177) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - ...

Stromskalierung von Plasmafokusanlagen

Herold, H.
Kaeppeler, H.J.
Shakhatre, M. (Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung)
Auluck, S.K.H. (Bhabha Atomic Research Centre, Bombay (India). Neutron Physics Div.)
Schiuma, C.
Stuttgart Univ. (Germany). Inst. fuer Plasmaforschung

January 1990

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA 608(90-1) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Te...

Roentgenmessungen an sehr schweren Ionen mit wenigen Elektronen

Finlayson, K.D.
Gesellschaft fuer Schwerionenforschung m.b.H. (GSI), Darmstadt (Germany)
Heidelberg Univ. (Germany). Naturwissenschaftlich-Mathematische Gesamtfakultaet

January 1992

SIGLEAvailable from TIB Hannover: RA3692(92-18) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - T...

Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Abstract

Extracted data

Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Abstract

Extracted data

Related items

Related items