Mikroplasmen in poroesem Silizium Abschlussbericht

Fraunhofer-Institut fuer Festkoerpertechnologie (IFT), Muenchen (Germany)

Publication date

January 1995

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SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B2547+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

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