CROISSANCE ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE D'ALUMINIUM ET DE NITRURE DE BORE CUBIQUE OBTENUES PAR PULVERISATION TRIODE

LE NITRURE DE BORE CUBIQUE (C-BN) ET LE NITRURE D'ALUMINIUM (AIN) POSSEDENT DES PROPRIETES EXCEPTIONNELLES (DURETE, STABILITE THERMIQUE, STABILITE CHIMIQUE, GAP OPTIQUE) QUI LES RENDENT PARTICULIEREMENT INTERESSANTS SOUS FORME DE FILMS MINCES DANS DIFFERENTS DOMAINES D'ACTIVITE : LA MECANIQUE, L'OPTIQUE, LA MICROELECTRONIQUE. LES PROPRIETES DES FILMS MINCES DEPOSES PAR LES METHODES DE DEPOT EN PHASE VAPEUR (PVD-CVD) DEPENDENT DE LA TEMPERATURE DE DEPOT, DU FLUX ET DE L'ENERGIE DE CHACUNE DES ESPECES ARRIVANT SUR LE SUBSTRAT. AINSI, LA CROISSANCE DES FILMS DE C-BN N'EST POSSIBLE QUE DANS UN DOMAINE DE CONDITIONS DE DEPOT LIMITE, AVEC UN BOMBARDEMENT IONIQUE IMPORTANT. LES FILMS D'AIN ET DE BN ONT ETE DEPOSES PAR PULVERISATION TRIODE REACTIVE AVEC POLARISATION DU SUBSTRAT. L'EFFET DE CHACUN DES PARAMETRES DE DEPOT SUR LA DECHARGE A ETE ETUDIE PAR SONDE DE LANGMUIR ET COLLECTEUR D'IONS. L'ETUDE DES PROPRIETES DES FILMS D'AIN ET DE BN PAR SPECTROMETRIE INFRAROUGE (FTIR), SPECTROMETRIE UV-VISIBLE, SPECTROMETRIE RAMAN, DIFFRACTION DE RAYONS X (DRX) MICROSCOPIE ELECTRONIQUE A BALAYAGE (MEB) COUPLEE AVEC UN SYSTEME D'ANALYSE EN SPECTROMETRIE A DISPERSION D'ENERGIE (EDS) ET MICROSCOPIE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION HAUTE RESOLUTION (MET-HR) A PERMIS DE DETERMINER LES CONDITIONS OPTIMALES EN COMPOSITION DU GAZ DE DECHARGE ET POLARISATION DU SUBSTRAT POUR LA CROISSANCE DE FILMS DE C-BN ET D'AIN (0002) POUR DES APPLICATIONS SAWS. L'ETUDE SYSTEMATIQUE DE LA CONTRAINTE DES FILMS A PERMIS DE METTRE EN EVIDENCE L'EFFET DE DIFFERENTS PARAMETRES (LE FLUX D'IONS, L'ENERGIE DES IONS, LA VITESSE DE DEPOT, L'EPAISSEUR DE FILM) SUR LA CONTRAINTE DES FILMS. L'ETUDE DE LA CROISSANCE DES FILMS DE C-BN PAR PROFIL DE CONTRAINTE A PERMIS DE MONTRER LE ROLE DE LA CONTRAINTE DANS LA FORMATION DES FILMS DE C-BN CONFORMEMENT AU MODELE DE MACKENZIE. LE CHANGEMENT DE CONDITION DE DEPOT APRES LA NUCLEATION DU C-BN NE PERMET PAS DE REDUIRE LA CONTRAINTE NI D'AMELIORER L'ADHERENCE DES FILMS DE C-BN. CES RESULTATS INDIQUENT QUE LA CONTRAINTE DES FILMS DEPEND NON SEULEMENT DES CONDITIONS DE DEPOT MAIS AUSSI DES PROPRIETES MECANIQUES DU MATERIAU DEPOSE.VALENCIENNES-BU Sciences Lettres (596062101) / SudocSudocFranceF