Conception et réalisation de microradiomètres thermiques sur substrats polymères adaptés à la sécurité des biens et des personnes en milieu industriel

La nécessité de maintenance et de contrôle des process in situ impose une présence partielle des opérateurs, avec des risques d'accident (hommes) ou d'incidents (machines), compte tenu de la vitesse et de la force des systèmes de robotique présent dans l'industrie. Ainsi, la détection des personnes par leur émission infrarouge constitue une problématique afin que toute approche humaine non préparée et voulue puisse arrêter les machines, ou au moins écarter le danger. Les solutions actuellement recourent à des détecteurs pyroélectriques, qui ne sont sensibles qu'aux variations temporelles de température. En revanche, les détecteurs thermiques, à la base de nos travaux, reposant sur l'effet "self-generating" de Seebeck, permettent de prendre en compte le régime permanent d'une source infrarouge. L'utilisation de tels capteurs, éventuellement couplés aux solutions traditionnelles en vue d'un traitement de l'information par logique floue, pourrait amener des solutions nouvelles au problème posé. Les travaux de modélisation ont permis une amélioration de la sensibilité des capteurs en modifiant le substrat, la thermopile et le collecteur. Nous avons développé des capteurs sur substrat polymères en utilisant les microtechnologies. Les réalisations matricées 2*2 de ces capteurs donnent une sensibilité globale de 12 microV/(W.m carré moins 1) environ. Les limitations du procédé de fabrication sont étudiées en vue d'une nouvelle amélioration des performances.LILLE1-BU (590092102) / SudocSudocFranceF