Tests de circuits intégrés au MEB à travers les couches isolantes : correction des erreurs par simulation numérique

Le contraste de potentiel créé par un faisceau d'électrons permet, grâce au phénomène de couplage capacitif, le relevé du potentiel sur des circuits intégrés passivés. L'étalement du potentiel dans les diélectriques est identifié comme une cause d'erreur particulière à ce type de mesure mais du même ordre de grandeur que les autres erreurs associées à cette technique (effet des champs locaux, bruit de grenaille des électrons secondaires...). Une simulation numérique bidimensionnelle est présentée afin de quantifier cette erreur et de corriger les valeurs mesurées