Studi Pengaruh Variasi Tegangan Rf Plasma Nitrogen Terhadap Modifikasi Permukaan Polistirena Dengan Metode Optical Emission Spectroscopy (Oes)

Parameter plasma nitrogen merupakan indikator penting dalam perlakuan modifikasi permukaan. Parameter plasma ini meliputi daya, tegangan RF, laju alir, tekanan dan waktu deposisi. Pada penelitian ini, pengaruh tegangan RF plasma nitrogen terhadap parameter internal yaitu temperatur (Te) dan densitas elektron (Ne) terhadap modifikasi pemukaan polistirena di atas permukaan QCM telah dilakukan. Plasma nitrogen yang dihasilkan dengan menggunakan frekuensi RF 2 MHz, dengan laju alir 60 ml/menit, tekanan dasar 4 Pa, tekanan perlakuan plasma 40 Pa, dan waktu 2 menit dibuat konstan. Sedangkan tegangan RF divariasi pada tegangan 60 V, 70 V, 80 V, 90 V, dan 100 V. Teknik deposisi polistirena dengan metode spin coating. Pengolahan data parameter plasma nitrogen ditentukan dengan metode optical emission spectroscopy (OES). Hasil OES didapat panjang gelombang plasma sebagai spesies-nya adalah 311, 331, 353, yang merupakan spesies (NI) dan 385, dan 423 nm spesies (NII). Intensitas semua spesies plasma nitrogen mengalami peningkatan dengan naiknya tegangan RF. Nilai temperatur elektron mengalami penurunan terhadap peningkatan tegangan RF dikarenakan ionisasi lemah yang dominan dalam reaksi plasma tersebut. Peningkatan tegangan RF juga menghasilkan penurunan terhadap densitas elektron yang disebabkan peningkatan ketebalan sheath yang terekam oleh OES. Peningkatan tegangan RF menghasilkan perubahan sudut kontak menjadi lebih kecil atau semakin hidrofilik karena faktor reaksi kimia dan fisik yang terjadi dalam modifikasi permukaan oleh plasma nitrogen