Pengaruh Variasi Kecepatan Putar Spin Coating Dan Konsentrasi Larutan Terhadap Distribusi Kehomogenan Morfologi Permukaan Tio2 Di Atas Qcm

Hasil studi literatur bahwa kehomogenan lapisan yang terdeposisi di atas QCM dapat meningkatkan kemampuan QCM sebagai sensor gas. Distribusi kehomogenan lapisan TiO2 di atas QCM dapat mengindikasikan efektifitas dan selektivitas sensor. Dalam studi literatur ini menggunakan sol-gel TiO2 yang dideposisi dengan teknik spin coating. Konsentrasi larutan TiO2 nanopartikel juga divariasikan. Ketebalan lapisan yang terdeposisi berpengaruh terhadap sensitivitas sensor QCM. Variasi kecepatan putar spin coating mulai 1000 rpm dan tertinggi pada 6000 rpm dengan konsentrasi larutan 0,1 M; 0,2 M; 0,3 M; dan 0,4 M untuk menghasilkan permukaan yang homogen. Kehomogenan lapisan terhadap ukuran partikel, komposisi, dan ketebalan diliat dari morfologi permukaan dengan AFM dan SEM. Serta dilakukan pengujian pendukung dengan XRD untuk mengetahui struktur kristal dan elipsometri untuk mengetahui ketebalan. Hasil studi literatur menunjukkan bahwa permukaan QCM dengan kecepatan 3000 rpm sudah memperoleh lapisan yang homogen merata di atas permukaan QCM dengan konsentrasi 0,3 M. Ketebalan lapisan yang didapatkan 64 nm. Konsentrasi larutan yang lebih tinggi membuat terjadinya retakan pada permukaan