НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ

Величко, О. И.
Гундорина, Е. А.
Аксенов, В. В.

Publication date

January 2011

Abstract

Показано, что при термообработках слоев кремния, предварительно аморфизованных внедрением ионов германия и затем имплантированных ионами бора, перенос примеси вплоть до температуры 850 оС осуществляется посредством длиннопробежной миграции неравновесных межузельных атомов бора

Extracted data

We use cookies to provide a better user experience.

Data Protection

НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ

Величко, О. И.
Гундорина, Е. А.
Аксенов, В. В.

Open link

Publication date

January 2011

НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ

Abstract

Extracted data

НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ

Abstract

Extracted data

Related items

Related items