ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ

Котов, Д. А.
Ясюнас, А. А.
Родионов, Ю. А.

Publication date

January 2011

Abstract

Проведены аналитические исследования конструкций и рабочих характеристик источников ионов для обработки подложек площадью более 100 см2. Показаны физические закономерности и ограничения существующих ионно- лучевых устройств обеспечивающих неравномерность обработки подложек большой площади +5% и менее. Предложе- на концепция построения ионно-лучевых источников ионов на основе источников индуктивно-связанной плазмы высо- кой плотности