Caractérisation et analyse des performances des capacités ferroélectriques à BST dans le domaine des ondes millimétriques

International audienceNous présentons la réalisation et l'analyse des performances hyperfréquences de condensateurs interdigités à capacité variable (IDC) intégrant des couches minces ferroélectriques de titanate de baryum et strontium (Ba1-xSrxTiO3). Les dispositifs intégrant des films avec deux compositions différentes ont été caractérisés sur une plage fréquentielle allant de 200 MHz à 67 GHz, en leur appliquant différentes tensions de polarisation. Les résultats montrent des variations de capacités dans le domaine des fréquences millimétriques allant jusqu'à 40% sous des champs électriques relativement faibles, de 150 kV/cm. Ces caractéristiques prometteuses permettent d'envisager l'intégration de ces composants IDC au sein des antennes millimétriques reconfigurables. I