Modifikasi Lapisan Masking Polistirena Dengan Teknik Laser Pada Quartz Crystal Microbalance

Performa Quartz Crystal Microbalance (QCM) sebagai sensor dapat ditingkatkan dengan melakukan modifikasi pada permukaannya dengan cara mengurangi ketebalan QCM. Tujuan dari modifikasi permukaan QCM adalah untuk meningkatkan sensitivitas QCM. Teknik laser adalah salah satu teknik untuk mengurangi ketebalan QCM dengan menggunakan laser CO2. Pada penelitian ini, fungsi laser CO2 dan variasi arus laser terhadap penghilangan masking polistirena akan diteliti. Polistirena digunakan sebagai masking pada permukaan QCM. Elektroda pada QCM dihilangkan dengan menggunakan larutan HNO3. Masking polistirena dideposisikan pada permukaan QCM menggunakan alat spin coater dengan teknik spin coating. Variasi arus laser dapat mempengaruhi nilai kedalaman etsa. Proses teknik laser pada QCM dilakukan dengan menggunakan variasi arus laser sebesar 13,6A; 13,7A; 13,8A; 13,9A; dan 14A dengan kecepatan etsa 10mm/s serta ketebalan garis laser 0,01mm. Permukaan QCM yang ter-etsa diamati menggunakan mikroskop optik dan TMS. Morfologi pada mikroskop optik menunjukkan adanya daerah profil rendah pada daerah yang telah dietsa. Topografi pada TMS menunjukkan adanya nilai kedalaman(z) antara daerah masking dengan daerah etsa. Arus laser yang paling efektif untuk pembentukan pola masking polistirena pada QCM yaitu 14A. Daerah etsa memiliki nilai kekasaran yang lebih besar dibandingkan daerah masking