Pengaruh Variasi Tekanan Chamber Terhadap Nilai Temperatur Dan Densitas Elektron Pada Diagnostik Plasma Nitrogen Menggunakan Spektroskopi Emisi Optik

Penelitian diagnostik plasma nitrogen menggunakan spektroskopi emisi optik Aurora 4000 pada modifikasi lapisan polistirena telah dilakukan. Diagnostik dilakukan pada kondisi chamber tanpa sampel dan ada sampel didalamnya. Diagnostik dilakukan dengan plasma pada variasi tekanan chamber adalah 20,30,40,50, dan 60. Hasil diagnostik menunjukkan bahwa nilai temperatur elektron turun seiring dengan kenaikan tekanan chamber. Hal ini disebabkan karena semakin tinggi tekanan semakin besar jumlah N partikel sehingga untuk setiap distribusi persebaran energi, tiap partikel akan menerima energi lebih kecil. Densitas elektron dan intensitas meningkat seiring kenaikan tekanan, disebabkan oleh semakin banyak reaksi ionisasi yang menghasilkan elektron dan disosiasi gas menjadi radikal sehingga jumlah elektron dan emisi optik plasma meningkat. Pengukuran nilai sudut kontak air pada sampel dengan perlakuan plasma menunjukkan terjadi peningkatan hidrofilisitas pada permukaan