Дослідження структур ZnO:Al/SiOx/PorSi/р-Si/Al

EN: Was investigated the luminescent properties of the system ZnO:Al/SiO2/PorSi/Si, which was formed by the method of spray pyrolysis. The shift of the photoluminescence intensity at wavelengths of 350 - 450 nm happen due to the introduction of ZnO in porous silicon, the intensity increases with increasing concentration of aluminum from 1.5 at.% to 4.5 at.%. UK: Досліджено люмінесцентні властивості системи ZnO:Al/SiO2/PorSi/Si, яка була сформована методом розпилення піролізу. Зсув інтенсивності фотолюмінесценції на довжинах хвиль (350-450) нм відбувся через введення ZnO в поруватий кремній, причому, інтенсивність зростала зі збільшенням концентрації алюмінію від 1,5 ат.% до 4,5 ат.%