Физические принципы работы и технологии интегральных схем

Используемые программы: Adobe Acrobat.Труды сотрудников СамГУ (электрон. версия).Представлены темы, раскрывающие вопросы технологии изготовления и конструкции интегральных микросхем. Курс служит цели подготовки профессионально компетентных специалистов в области физики полупроводников и микроэлектроники, имеющих представление о физических принципах, лежащих в основе работы интегральных схем; обладающих адекватными способами решения теоретических и экспериментальных задач по измерению, расчету и проектированию полупроводниковых приборов на основе интегральных схем. Задачи дисциплины:рассмотреть основные типы интегральных схем; рассмотреть основные технологические методы изготовления интегральных схем; рассмотреть основные методы контроля параметров в процессе изготовления микросхем; рассмотреть принцип действия типовых установок, используемых в технологии создания интегральных схем; способствовать ориентации студентов на мировой уровень развития наук