Printed electrostatic microactuator

Bakalářská práce se zabývá různými typy elektrostatických mikroaktuátorů. Základem práce je rešerše kapacitních mikroaktuátorů, ve které jsou popsány základní vlastnosti a principy. V rešerši jsou zmíněny mikroaktuátory, které se nejvíce používají. Rešerše také popisuje technologii Aerosol Jet Print a mikrozařízení vyrobené za pomoci již zmíněnené technologie. Následující kapitola obsahuje vybrané geometrie elektrostatických mikroaktuátorů a jejich řešení v softwarovém programu COMCOL Multiphysics. S ohledem na výrobu prostřednictvím technologie Aerosol Jet Print, mechanickou pevnost, silové účinky a elektrické vlastnosti, je v poslední kapitole vytvořen výrobní výkres vybrané geometrie. Hlavním cílem této práce je zjistit, zda je možné vytvořit elektrostatický mikroaktuátor za použití technologie Aerosol Jet Print.ObhájenoThis bachelor thesis is concerned with different types of electrostatic microactuators. The base of this thesis is the research of capacitive microactuators that explains their basic properties and principles. The research mentions the most frequently used microactuators. It also describes the Aerosol Jet Print technology and the microdevices manufactured using this technology. The following chapter contains chosen geometries of electrostatic microactuators and their solutions in the COMCOL Multiphysics programme. The last chapter contains a manufacture design of the chosen geometry, that has been created with regard to the production using the Aerosol Jet Print technology, mechanical solidity, strength effects and electrical properties. The main goal of this thesis is to find out if it is possible to create an electrostatic microactuators using the Aerosol Jet Print technology