Influence du traitement thermique sur les propriétés des résistances de platine d’un microcapteur de flux thermique

International audienceRésumé - Cette étude se situe dans le cadre du développement de fluxmètres thermiques en microtechnologie. Ces fluxmètres consistent en deux résistances de platine déposées sur un substrat en verre. Dans une première partie, nous présentons le principe du fluxmètre et de la mesure de température. Dans une deuxième partie, nous présentons également les étapes de fabrication en salle blanche et les différentes températures de recuits étudiées. Nous présentons des résultats expérimentaux sur la variation de résistance observée selon les différentes températures de recuit et une analyse par Diffraction de Rayons X complétée par des images au microscope à balayage. Nous proposons comme hypothèse que la baisse de résistivité observée pour les faibles températures de recuit est due à l’amélioration du réseau cristallin et que la hausse observée pour les températures les plus élevées est due à la diffusion de la couche d’accroche en chrome dans le platine