Study on the Effect of Assembly Process Parameters to the Drop Mura in Liquid-Crystal Displays

每日薄膜液晶顯示器良率的前三名中，滴下型光暈現象是最常出現的，因此改善滴下型光暈現象，就變成良率提升的重要的課題。一般而言，改善滴下型光暈現象方法有兩個：一、可以增加抽氣時間；二、利用對真空貼合機的製程參數分析，進而提升面板級別。但抽氣時間拉長會影響產能，本論文研究針對綜合製程參數優化作研究。機台的參數大致可分為兩大類：時間、壓力；利用製程參數與面板級別比較，計算平均值與標準差，找出讓滴下型光暈現象可以變輕微的條件，各種條件組合該如何搭配選擇，選擇適合條件參考之。利用分析的結果，開始抽氣到微對位時間控制在37秒、破大氣壓力控制在0.45帕(Pa)以上，再加以修正機台可程式控制器的動作條件，管控開始抽氣到微對位時間、和破大氣壓力，進而獲得更好的產品，將自己的製程能力提升，增加基板的獲利。Drop Mura is one of the most important issues in the reliability in the flat Panel Display. Therefore, in this work, our purpose is to study the parameters that cause the Drop Mura in order to improve the yield.In general, two directions to alleviate the Drop Mura. First one is to increase the pumping time during assembly process. The other one is to take all parameters during assembly into account to optimize the process. Increase the pumping time seems the best way. However, due to the throughput requirement, the factory cannot adopt this method. As a result, optimize the process parameters is the appropriate direction.We classified the process parameters into two categories：Time and Pressure. And set into twelve processes. By comparing the Level and standard deviation of the Drop Mura status, we could find out the optimum parameters.According to the result of analysis, set FINE time as 37 seconds, VENT Pressure as 0.45 Pa is the best condition. Under this condition, Less Drop Mura was found and the throughput was acceptable.誌謝辭 i 中文摘要 ii Abstract iii 目錄 iv 表目次 vi 圖目次 vii 符號說明 ix 第１章 緒論 1 1.1 研究背景 1 1.2CELL製程介紹 1 1.2.1液晶滴下製程(ODF)介紹 2 1.3 研究動機 6 第２章 Drop Mura介紹 7 2.1 Drop Mura介紹 7 2.2 Drop Mura形成原因 8 2.2.1SEAL製程介紹 9 2.2.2LCDP製程介紹 10 2.2.3VAS製程介紹 11 2.3 形成原因理論推論 12 2.3.1流動型影響推論 12 2.3.2排列型影響推論 16 第３章 實驗步驟 18 3.1 基板貼合設備介紹 18 3.1.1CF& TFT基板進片 19 3.1.2真空抽氣 22 3.1.3粗對位 23 3.1.4微對位 24 3.1.5進行貼合 25 3.1.6回大氣 26 3.1.7合板分離上定盤 27 3.1.8精度確認 28 3.1.9合板送出 29 第４章 實驗條件選定 30 4.1實驗條件選定 30 4.2實驗數據取的 32 4.3Drop Mura等級的定義 33 4.4液晶量的差別 34 第５章 結果與討論 36 5.1 觀察指標 36 5.2 實驗數據分析 36 5.2.1DRY抽氣時間 37 5.2.2TMP抽氣時間 38 5.2.3到達底壓時間 39 5.2.4CYCLE TIME 40 5.2.5開始抽氣到ROUGH 時間 41 5.2.6開始抽氣到FINE時間 42 5.2.7開始抽氣到PRESS時間 43 5.2.8開始抽氣到VENT時間 44 5.2.9 ROUGH 壓力 45 5.2.10 FINE 壓力 46 5.2.11 PRESS 壓力 47 5.2.12 VENT 壓力 48 第６章 結論 49 參考文獻 5