Die Multipolresonanzsonde

In dieser Arbeit wurde gezeigt, wie eine neue Diagnostikmethode - die Multipolresonanzsonde (MRP) - in Plasmareaktoren sinnvoll verifiziert werden konnte. Um die Validierung der MRP möglichst umfassend zu gestalten, wurde die Sonde in vielen verschiedenen Messumgebungen eingesetzt. Hierfür wurden viele Parameterstudien - wie z.B. unterschiedliche Gasflüsse und -arten, Variation der Leistung, des Prozessdrucks und der Messposition - durchgeführt. Des Weiteren wurden Plasmen mit unterschiedlichen Anregungsfrequenzen und auch die Kombination von mehreren Generatoren untersucht. Dabei wurde größter Wert auf die Vergleichbarkeit mit anderen bereits etablierten Diagnostiksystemen. Die MRP kann nun als funktionsfähige und verlässliche Diagnostik eingestuft werden, um in der Industrie zum Monitoring von Plasmaprozessen eingesetzt werden zu können. Es zeigte sich dabei, dass das Überwachen eines Beschichtungsprozesses mit Plasmaparametern innovative Regelungsmodelle und -strategien zulässt