纳米位置控制系统由于其控制精度达到纳米级,因此合理选择数字滤波器类型,正确设计数字滤波器算法是保证纳米控制系统定位精度的重要因素,但现有用于纳米位置控制系统的噪声滤波器采用传统的带阻滤波器,其参数固定。一旦纳米位置控制系统发生移动或者改变负载,噪声特性将随之发生变化,因此,常规定常数的滤波器难以有效滤除系统噪声。针对该问题,采用文化算法和案例推理技术,提出了纳米位置控制系统带阻滤波器参数自适应整定方法。实验结果证明提出的数字带阻滤波器的能够有效滤除纳米位置控制系统中的系统机械结构噪声,有效保证了系统的稳定性
在基于AFM的纳米操作过程中,为提高探针的定位精度和操作效率,本发明公开一种在纳米操作任务空间中基于概率预估的实时反馈方法,包括以下步骤:a.建立探针驱动模型:b.探针观测模型:c.使用Kalman滤...
在基于AFM的纳米操作过程中,为提高探针的定位精度和操作效率,本发明公开一种在纳米操作任务空间中基于概率预估的实时反馈方法,包括以下步骤:a.建立探针驱动模型:b.探针观测模型:c.使用Kalman滤...
本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置,包括:AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统,所述超声辅助系统与相位反馈系统连接;方法包括:人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差...
纳米位置控制系统由于其控制精度达到纳米级,因此合理选择数字滤波器类型,正确设计数字滤波器算法是保证纳米控制系统定位精度的重要因素,但现有用于纳米位置控制系统的噪声滤波器采用传统的带阻滤波器,其参数固定...
国内尚无针对纳米位置控制系统噪声的滤波器设计。如果改变纳米位置控制系统环境或者改变负载,常规定常数的滤波器难以有效滤除系统噪声。考虑位置控制系统为纳米级的精确控制系统,本文采用文化算法和案例推理技术,...
本实用新型涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,其特征在于:包括步进电机、压电陶瓷驱动器、激光发射器、激光接收器、控制器、探针、激光光源、光电传感器,所...
本实用新型涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,其特征在于:包括步进电机、压电陶瓷驱动器、激光发射器、激光接收器、控制器、探针、激光光源、光电传感器,所...
本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,本发明通过控制步进电机带动样品台上升,利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置,完成逼近初调;然后...
本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,本发明通过控制步进电机带动样品台上升,利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置,完成逼近初调;然后...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
为解决位置敏感器件(PSD)提取光斑位置信息的不准确性,克服元器件、信号处理电路等带来的随机噪声干扰,本文提出了一种基于极限学习机(ELM)的反馈堆叠模型(FsELM)。该模型使用ELM作为基本训练块...
为解决位置敏感器件(PSD)提取光斑位置信息的不准确性,克服元器件、信号处理电路等带来的随机噪声干扰,本文提出了一种基于极限学习机(ELM)的反馈堆叠模型(FsELM)。该模型使用ELM作为基本训练块...
在基于AFM的纳米操作过程中,为提高探针的定位精度和操作效率,本发明公开一种在纳米操作任务空间中基于概率预估的实时反馈方法,包括以下步骤:a.建立探针驱动模型:b.探针观测模型:c.使用Kalman滤...
在基于AFM的纳米操作过程中,为提高探针的定位精度和操作效率,本发明公开一种在纳米操作任务空间中基于概率预估的实时反馈方法,包括以下步骤:a.建立探针驱动模型:b.探针观测模型:c.使用Kalman滤...
本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置,包括:AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统,所述超声辅助系统与相位反馈系统连接;方法包括:人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差...
纳米位置控制系统由于其控制精度达到纳米级,因此合理选择数字滤波器类型,正确设计数字滤波器算法是保证纳米控制系统定位精度的重要因素,但现有用于纳米位置控制系统的噪声滤波器采用传统的带阻滤波器,其参数固定...
国内尚无针对纳米位置控制系统噪声的滤波器设计。如果改变纳米位置控制系统环境或者改变负载,常规定常数的滤波器难以有效滤除系统噪声。考虑位置控制系统为纳米级的精确控制系统,本文采用文化算法和案例推理技术,...
本实用新型涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,其特征在于:包括步进电机、压电陶瓷驱动器、激光发射器、激光接收器、控制器、探针、激光光源、光电传感器,所...
本实用新型涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,其特征在于:包括步进电机、压电陶瓷驱动器、激光发射器、激光接收器、控制器、探针、激光光源、光电传感器,所...
本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,本发明通过控制步进电机带动样品台上升,利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置,完成逼近初调;然后...
本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,本发明通过控制步进电机带动样品台上升,利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置,完成逼近初调;然后...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
为解决位置敏感器件(PSD)提取光斑位置信息的不准确性,克服元器件、信号处理电路等带来的随机噪声干扰,本文提出了一种基于极限学习机(ELM)的反馈堆叠模型(FsELM)。该模型使用ELM作为基本训练块...
为解决位置敏感器件(PSD)提取光斑位置信息的不准确性,克服元器件、信号处理电路等带来的随机噪声干扰,本文提出了一种基于极限学习机(ELM)的反馈堆叠模型(FsELM)。该模型使用ELM作为基本训练块...
在基于AFM的纳米操作过程中,为提高探针的定位精度和操作效率,本发明公开一种在纳米操作任务空间中基于概率预估的实时反馈方法,包括以下步骤:a.建立探针驱动模型:b.探针观测模型:c.使用Kalman滤...
在基于AFM的纳米操作过程中,为提高探针的定位精度和操作效率,本发明公开一种在纳米操作任务空间中基于概率预估的实时反馈方法,包括以下步骤:a.建立探针驱动模型:b.探针观测模型:c.使用Kalman滤...
本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置,包括:AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统,所述超声辅助系统与相位反馈系统连接;方法包括:人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差...