Bauteil, das mit ß-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist und ein Verfahren zu seiner Herstellung

Das Bauteil, das mit β-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist weist eine Wärmeleitfähigkeit > 80 W/mK sowie eine dielektrische Durchlagsfestigkeit > 35 KV/mm auf. Ei der Herstellung wird pulverförmiges SiNzu einem blockförmigen Element geformt und bei einer Wärmebehandlung in einer Stickstoffatmosphäre bei einer Temperatur von mindestens 1700 °C verdichtet. Im Anschluss an eine nachfolgende Abkühlung aus dem blockförmigen Element werden Trägerelemente als scheibenförmige Elemente mit einer Dicke der einzelnen Trägerelemente im Bereich 100 µm bis 3 mm mittels eines Drahtsägeprozesses erhalten